[实用新型]准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具

说明书

本申请公开一种准分子激光器的透镜固定载具，其包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。本申请还公开一种准分子激光器。上述方案能解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。

技术领域

本申请涉及激光设备技术领域，尤其涉及一种准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具。

背景技术

准分子激光器是波长在紫外波段的脉冲气体激光器。近年来，在各方面的不懈钻研努力下，准分子激光器得以迅速发展。目前，市场上推出的准分子激光器的功率水平在不断提高，这使得准分子激光器的适用范围也从实验室领域扩展到激光医疗、激光加工等领域。

准分子激光退火是LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)工艺中不可或缺的一道工序，该工序由准分子激光器完成。在对准分子激光器进行维护的过程中，用户需要对准分子激光器的透镜进行保养。保养操作需要拆卸透镜来实现。

准分子激光器的透镜固定在透镜固定载具上，透镜固定载具包括压紧环(通常为铜环)和筒体，压紧环与筒体螺纹配合，在安装透镜的过程中，用户通常通过光学扳手旋拧压紧环，进而将透镜压紧在筒体的内壁凸台上。在旋拧压紧环的过程中，压紧环会逐渐压紧在透镜的表面，压紧环的旋转会划伤透镜，进而较容易造成不可修复的损坏。可见，目前的透镜固定载具在透镜保养操作过程中较容易损伤透镜。

实用新型内容

本申请提供一种准分子激光器的透镜固定载具，以解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。

为了解决上述问题，本申请实施例采用下述技术方案：

准分子激光器的透镜固定载具，包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。

优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端外伸于所述外套件，所述内套件的尾端用于接收驱动力以压紧所述透镜，所述驱动力由所述准分子激光器的夹持器件施加。

优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端设置第一限位凸台，所述外套件的尾端设置有第二限位凸台，所述第一限位凸台能与所述第二限位凸台限位配合。

优选的，上述透镜固定载具中，第一限位凸台自所述内套件的尾端的边缘向远离所述内套件的中心的方向延伸，所述第二限位凸台与所述第一限位凸台的延伸方向一致。

优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的头端设置有第一定位槽，所述第一密封圈定位在所述第一定位槽中。

优选的，上述透镜固定载具中，所述定位凸台设置有第二定位槽，所述第二密封圈定位在所述第二定位槽中。

优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三密封圈，所述第三密封圈用于与所述准分子激光器的谐振腔密封连接。

优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三定位槽，所述第三密封圈定位在所述第三定位槽中。

优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件与所述外套件在两者的周向定位配合。