[实用新型]一种基于UVLED的曝光光源

说明书

本实用新型公开了一种基于UVLED的曝光光源，包括电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；PWM调光电路与LED芯片连接控制LED灯珠发光；并通过调节可变电位器或改变供电电压进行调光。本实用新型通过振荡电路输出脉冲信号使UVLED曝光光源以固定速率做周期循环，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，可以增加曝光均匀性，并可缩小装置体积、节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能。

技术领域

本实用新型属于集成电路制造技术领域，特别是涉及一种基于UVLED的曝光光源。

背景技术

目前使用传统的紫外线（UV）进行曝光的机台容易造成因扫描速度不规律，导致UV光源不稳定，辐射照度不够而产生曝光均匀性不足的问题，如何将曝光机的传统光源改换成这种UVLED光源，实现既不改变原曝光机的基本结构、不干扰原曝光机部件的正常运转成了当前市场急需解决的问题。

对此本实用新型提出高精密度的UVLED固化紫外曝光光源模组，解决了传统汞灯在设备上曝光不均匀、能效低的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种基于UVLED的曝光光源，通过振荡电路输出脉冲信号使UVLED曝光光源以固定速率做周期循环，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，可以增加曝光均匀性，并可缩小装置体积、节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种基于UVLED的曝光光源，包括：电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；

所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；

其中，所述时基电路芯片IC1的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC1的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC1的置“0”端引脚与置“1”端引脚均与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的控制端引脚通过一电容C4与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的放电端引脚通过两电阻R1、电阻R2分别与电源模块和电容C3连接；所述时基电路芯片IC1的输出端引脚与一第一NPN三极管的基极连接，所述第一NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块和PWM调光电路连接，其中，所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有匹配电阻R3；所述第一NPN三极管的集电极与PWM调光电路之间设有电容C5；

所述振荡电路的输出端向PWM调光电路输出连续变化的振荡脉冲信号；

所述PWM调光电路包括时基电路芯片IC2及其外围电路；所述外围电路包括电容C6、电阻R4 、电阻R5和可变电位器；

其中，所述时基电路芯片IC2的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC2的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC2的置“0”端引脚与电容C6连接；所述时基电路芯片IC2的置“1”端引脚与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC2的放电端引脚通过可变电位器与供电电压源连接；所述时基电路芯片IC2的输出端引脚与一第二NPN三极管的基极连接，所述第二NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块和LED芯片连接，其中，所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有一匹配电阻R5；