[实用新型]一种隔膜泵系统

权利要求书

1.一种隔膜泵系统，其特征在于，该隔膜泵系统包括隔膜泵、与该隔膜泵可拆卸连接的流量传感器、与所述隔膜泵和所述流量传感器相连接的微控制器，其中

所述隔膜泵用于泵送流体，所述隔膜泵包括具有可变容积的泵送室、位于该泵送室上方的制动器、与该泵送室相连通且具有入口阀的入口以及与该泵送室相连通且具有出口阀的出口，所述入口与入口管道相连通，所述出口与出口管道相连通；

所述流量传感器包括加热元件及位于该加热元件两侧的第一感温元件和第二感温元件，所述流量传感器用于检测所述隔膜泵的功能状态；

所述微控制器根据所述流量传感器输出所述隔膜泵的功能状态调控所述隔膜泵。

2.根据权利要求1所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述流量传感器以插入式设置在所述出口管道的管壁上。

3.根据权利要求1所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述入口阀、所述出口阀和所述制动器均为可动部件。

4.根据权利要求3所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述制动器通过压电制动方式来改变所述泵送室的容积。

5.根据权利要求4所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述泵送室的容积为5nL-20μL。

6.根据权利要求1所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述流量传感器还包括衬底、位于该衬底上的第一保护层和第二保护层，在该第二保护层上设有加热元件及对称位于该加热元件两侧的第一感温元件和第二感温元件，所述第一感温元件与所述第二感温元件用于测量流体的温度以得到所述流体的流速。

7.根据权利要求6所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述流量传感器为热电堆式或热电阻式。

8.根据权利要求1所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述微控制器能够提高或者降低隔膜泵的泵送频率及发出警报以调控所述隔膜泵。

9.根据权利要求6所述的隔膜泵系统，其特征在于，所述微控制器使用单片机系统。