[实用新型]一种大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置

权利要求书

1.一种大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，包括：

龙门支架，其连接在工作平台基座上；

用于使夹持器沿Z轴竖直移动的Z轴升降单元，其连接在所述龙门支架顶部；

旋转单元，其连接在所述Z轴升降单元上；

用于夹持涂覆有薄膜的基片及捞膜用捞膜板的夹持器，其通过带关节的万向式支臂与旋转单元的旋转轴连接；

用于使脱膜液载置台沿X轴水平移动的X轴移动单元，其位于工作平台基座上；

用于使脱膜液载置台沿Y轴水平移动的Y轴移动单元，其连接在所述X轴移动单元的上方且与X轴移动单元相垂直放置；

其中，通过控制Z轴升降单元和旋转单元以调整夹持器与脱膜液载置台中液面的距离及夹角，直至满足超薄薄膜脱膜及捞膜所需的距离和角度要求，实现脱膜及捞膜。

2.如权利要求1所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述Z轴升降单元为伺服电缸或直线电缸。

3.如权利要求1所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述旋转单元为旋转电缸。

4.如权利要求1所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述夹持器包括：

U型支撑架，其连接在万向式支臂上；所述U型支撑架上设置有凸起部；所述U型支撑架的两个支撑臂上均连接有弹片；

其中，所述弹片与支撑臂的连接方式为：弹片的一端连接在U型支撑架的凸起部上，另一端与U型支撑架的支撑臂相抵触。

5.如权利要求1所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述X轴移动单元和Y轴移动单元具有相同的结构，其包括：平移台，其底部两侧连接有滑行通道；所述平移台的底部中间位置设置有螺纹通道；所述螺纹通道位于滑行通道中间且与滑行通道平行；

平行设置的两个支撑板，其通过两根平行的滑竿连接，所述两根平行的滑竿分别穿设在所述平移台的滑行通道内；

螺纹杆，其与所述螺纹通道相匹配连接，且所述螺纹杆的一端与支撑板可转动连接，另一端穿过螺纹通道后悬空；所述螺纹杆与支撑板可转动连接的一端连接有旋转把手。

6.如权利要求5所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述螺纹杆与支撑板的可转动连接方式为：在所述支撑板内设置有轴承，所述螺纹杆固定在轴承内。

7.如权利要求1所述的大尺寸超薄薄膜脱膜-捞膜装置，其特征在于，所述带关节的万向式支臂包括：万向节本体，其端部分别设置有第一锁紧部和第二锁紧部；所述第一锁紧部的一端与万向节本体固定连接，另一端通过第一锁紧螺栓与万向节本体连接；所述第二锁紧部的一端与万向节本体固定连接，另一端通过第二锁紧螺栓与万向节本体连接；所述万向节本体和第一锁紧部的中部掏空形成第一锁紧孔；所述万向节本体和第二锁紧部的中部掏空形成第二锁紧孔；所述第一锁紧孔和第二锁紧孔相垂直设置；所述第一锁紧孔内连接旋转单元的旋转轴；所述第二锁紧孔内连接支臂的一端；所述支臂的另一端连接夹持器。