[实用新型]一种可变光路的光学显微镜检测设备

说明书

本实用新型提供一种可变光路的光学显微镜检测设备，包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构。通过第一发光单元和第二发光单元提供不同波长的可变光，进而在光路引导单元中形成两个方向相反的光路，通过切换光路的照射方向，使得检测设备可呈现出生物显微镜和金相显微镜的功能，进而对不同的铟锡氧化物进行检测。而人们通过观测机构就可以对铟锡氧化物进行检测，由于铟锡氧化物对红外光不透光的特性，通过可变光源的红外光来源以及红外光光致荧光呈相机构，更准确的检测出铟锡氧化物的产品。

技术领域

本实用新型涉及显微镜领域，尤其涉及变光路的光学显微镜检测设备。

背景技术

铟锡氧化物是一种具有透光特性的半导体导电材料，并用来制备各类半导体器件如：薄膜晶体管平面显示器、发光二极管、太阳能电池、气体传感器和垂直腔面发射机光器等需要透明导电薄膜工艺的器件。一般铟锡氧化物在可见光光谱波段可呈现良好的透光效率，而在深紫外光以及红外光中则呈现反射特性。故除了电子器件所需的光电透光应用外，铟锡氧化物亦可用于车大楼玻璃外墙以及车用前挡玻璃的制红外线遮光应用。

一般铟锡氧化物工艺是采用溅镀法进行工艺施作,再透过黄光以及蚀刻工艺达到器件所需的图像化效果，进而依序完成透明导电膜的制作。光学显微镜目检方式是一般常见的方法，用来检视图像化工艺后的铟锡氧化物薄膜。而在薄膜晶体管平面显示器相关产业中，由于玻璃衬底也兼具良好透光特性，故会增加光学目检的困难度。而在进行目检时，只能通用光学显微镜肉眼观察或监测，在衬底为透明状态下易形成目检误差，导致产品良率瑕疵。

实用新型内容

为此，需要提供一种可变光路的光学显微镜检测设备，解决目检容易形成误差，导致产品不良率高的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种可变光路的光学显微镜检测设备，包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构；

所述第一发光单元与第二发光单元相对设置，载物台机构的载物平台上的通光孔位于第一发光单元的光路上，以及载物台机构的载物平台上的通光孔也位于第二发光单元的光路上，物镜单元的入射端对准载物台的通光孔，所述半反射镜的反射面朝向物镜单元的出射端设置，所述物镜单元是具有红外光致荧光呈现功能的物镜；

载物台机构用于接收第一发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔开启，以及载物台机构用于接收第二发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔闭合。

进一步地，还包括观测机构，观测机构包括目镜、棱镜反射组和补助透镜，补助透镜设置在半反射镜的反射光路上，棱镜反射组设置在补助透镜与目镜之间，棱镜反射组用于反射光束到目镜上。

进一步地，还包括同步电路单元，同步电路单元与第一发光单元电连接，同步电路单元与第二发光单元电连接，同步电路单元用于协调控制第一发光单元或第二发光单元发光时载物台上通光孔的开启或闭合。

进一步地，还包括光源机构，光源机构包括第一发光单元、第二发光单元和光路引导单元，第一发光单元设置在光源机构的一侧面上，第二发光单元设置在光源机构的另一侧面上，光路引导单元用于引导第一发光单元形成一个环形光路，且光路引导单元用于引导第二发光单元形成一个与第一发光单元方向相反的环形光路。

进一步地，所述载物台机构还包括三轴控制器和载物平台，所述载物平台的通光孔上设置有遮光板，同步电路单元设置有同步开关，同步开关设置在载物平台的内部空腔上，同步开关与遮光板连接，载物平台的通光孔位于光路引导单元的环形光路上，三轴控制器设置在载物平台的一侧。

进一步地，所述光源机构还包括切换单元，切换单元的第一输出端与第一发光单元电连接，切换单元的第二输出端与第二发光单元电连接，所述切换单元的输入端与同步电路单元电连接。