[实用新型]真空气压浮台装置及印刷设备

说明书

本实用新型涉及一种真空气压浮台装置以及包含该真空气压浮台装置的印刷设备，该真空气压浮台装置包括微调帽、印刷基台和螺杆；微调帽设有第一内螺纹，微调帽具有装配部和拧动部，微调帽的装配部设有第一外螺纹；印刷基台设有安装槽，安装槽的内壁上设有第二内螺纹，第二内螺纹与第一外螺纹相匹配；螺杆具有第二外螺纹，第二外螺纹与第一内螺纹相匹配，螺杆通过微调帽安装在印刷基台的安装槽内，并且微调帽的拧动部暴露在印刷基台外以用于通过外力对印刷基台的水平度进行调节，防止扳手等工具对螺杆的磨损，也可以减少或避免印刷基台内螺纹的磨损，便于更换微调帽，延长整个印刷基台和螺杆的使用寿命，节约成本。

技术领域

本实用新型涉及显示器制作设备领域，特别是涉及一种真空气压浮台装置及印刷设备。

背景技术

印刷有机发光器件(OLED)由于具有高效、低成本、大面积制备等优点引起了国内外的广泛关注和深入研究。在先进技术的发展和市场的需求推动下，目前印刷OLED已进入市场开发推广阶段，其中印刷工艺包括基板清洗、基板处理、喷墨打印、干燥固化、蒸镀、封装等。

为提高设备使用寿命和印刷成膜质量，通常可进行设备和工艺的优化。例如在印刷设备中，通过采用真空气流浮台装置精确控制基板的水平精度，同时减少印刷过程中玻璃基板等基板与印刷基台因摩擦等引起的静电作用。

传统的真空气流浮台装置包括支撑架、印刷基台以及与支撑架一体化的螺杆，通过螺杆和设置在螺杆上远离印刷基台所在端的螺母相配合实现对印刷基台高度的微调控和固定，调控范围为0-20μm。在实际操作中，印刷基台的高度及水平精度是目前印刷工艺的重要保障。而该传统的设置方式在微调和固定方面还是极为不便，需要扳手等工具进行强力调整，容易磨损螺杆影响固定效果，尤其是在多次微调之后印刷基台内还容易出现的螺纹磨损，进而造成的设备使用寿命受损和平稳度降低等问题。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种不易使印刷基台和螺杆发生磨损的真空气压浮台装置及印刷设备。

一种真空气压浮台装置，包括微调帽、印刷基台和螺杆；

所述微调帽整体上呈中空的柱体结构，所述微调帽设有第一内螺纹，所述微调帽具有装配部和拧动部，所述微调帽的装配部设有第一外螺纹；

所述印刷基台具有置物面，所述印刷基台的非置物面所在侧设有安装槽，所述安装槽的内壁上设有第二内螺纹，所述第二内螺纹与所述第一外螺纹相匹配；

所述螺杆具有第二外螺纹，所述第二外螺纹与所述第一内螺纹相匹配，所述螺杆通过所述微调帽安装所述安装槽内，并且所述拧动部暴露在所述印刷基台外。

在其中一个实施例中，所述第一内螺纹的螺距小于所述第一外螺纹的螺距。

在其中一个实施例中，所述第一内螺纹的螺距为2-3μm；

所述第一内螺纹的螺纹圈数为5-25圈；

所述第一外螺纹的螺距为200-500μm；

所述第一外螺纹的螺纹圈数为1-4圈。

在其中一个实施例中，所述印刷基台的中部设有多个气流孔，多个所述气流孔均匀分布。

在其中一个实施例中，所述印刷基台为陶瓷板。

在其中一个实施例中，所述安装槽有多个，多个所述安装槽间隔设置在所述印刷基台的边缘区域上；

所述螺杆有多个，所述微调帽有多个，多个所述微调帽和多个所述螺杆一一配套并分别对应安装在多个所述安装槽内。

在其中一个实施例中，所述真空气压浮台装置还包括支撑架，多个所述螺杆分别穿设于所述支撑架。

在其中一个实施例中，所述支撑架和多个所述螺杆呈一体化结构。