[实用新型]光纤法布里珀罗传感器及测试装置有效
| 申请号： | 201820285833.0 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN207976161U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 周坤;崔金明;黄运锋;李传峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤 传感器 光纤法 微腔 本实用新型 凹形曲面 测试装置 二氧化碳激光 球面 端面对接 模式匹配 曲面区域 自由光谱 集成度 精细度 稳定腔 中轴线 线宽 | ||
1.一种光纤法布里珀罗传感器，其特征在于，包括：
相对的第一光纤和第二光纤，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，且所述第一端面和所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面对接形成一微腔，所述微腔为稳定腔；
其中，所述第一端面的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。
3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面为凹形曲面，且所述第二端面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。
4.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第二端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。
5.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第一端面上镀有第一反射膜，和/或，所述第二端面上镀有第二反射膜。
6.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述第一反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜；所述第二反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜。
7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一端面和所述第二端面的对接工艺为熔接或粘接。
8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一光纤为单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤；所述第二光纤为单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤。
9.根据权利要求1-8任一项所述的传感器，其特征在于，所述微腔具有开口。
10.一种测试装置，其特征在于，包括：
权利要求1-9任一项所述的光纤法布里珀罗传感器；
位于所述第一光纤背离所述第二光纤一侧的光源，所述光源用于向所述光纤法布里珀罗传感器发射连续波长的激光；
位于所述第二光纤背离所述第一光纤一侧的光谱仪，所述光谱仪用于接收所述光纤法布里珀罗传感器出射的光线。
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