[实用新型]一种气体反应浓度的检测装置

说明书

一种气体反应浓度的检测装置，属于浓度检测技术领域。其特征在于：包括发生器主体（1）、设置在发生器主体（1）内的至少一个反应模块、电源以及控制装置，反应模块连接有进气管（5）和出气管（4），进气管（5）和出气管（4）上均设置有用于检测气体体积流量的检测模块，检测模块的信号输出端与控制装置的信号输出端相连，反应模块与电源相连。本气体反应浓度的检测装置的两个检测模块能够实时监测进入和排出反应模块的气体的体积流量，进而能够计算出反应模块生产的臭氧的浓度，实现了实时对生产的臭氧浓度的检测，解决了现有技术必须通过抽样的方式检测的难题，提高了检测的准确度，检测时操作方便。

技术领域

一种气体反应浓度的检测装置，属于浓度检测技术领域。

背景技术

臭氧是氧元素的同素异形体，在常温下，臭氧是一种有特殊臭味的蓝色气体，臭氧的用途很多，能够对工业污水、生活污水及医院污水进行深度处理，可除掉水中各种杂质，可消毒灭菌；臭氧可以除去水垢，防止阻塞管道；利用臭氧消毒灭菌不存在任何对人体有害的残留物（如用氯消毒有致癌的卤化有机物产生），对提高饮用水的消毒质量问题非常有效。而目前臭氧的应用还在加速扩大，在半导体生产制造领域的高品质氧化膜形成、光刻胶膜腐蚀清洗过程，还有臭氧冰制取、医疗卫生方面等等都离不开超高浓度超高纯度的臭氧。臭氧的以上各种用途，是建立在臭氧达到一定浓度和一定的高纯度条件下，所以，臭氧技术的发展都以高浓度高纯度低消耗为追求目标。

人工合成臭氧技术的发展也有一百多年的历史了，目前应用比较广泛的是臭氧发生器对气隙中氧气或空气进行电晕放电产生臭氧。为了保证臭氧的使用效果，需要对臭氧生产进行检测和控制。现有对臭氧浓度的检测大都采用抽样的方式进行，但抽样检测存在着一定的局限性，难以大范围准确反映臭氧的浓度。目前国内外对臭氧浓度的检测，是由专门的臭氧浓度检测仪来取样分析检测，采用的是紫外分析法。这种方法是通过紫外灯产生紫外线，用光波过滤器滤掉其他波长紫外光，只允许253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后到达光电传感器，通过样品光电传感器和采样光电传感信号比较，再经过数学模型的计算得出浓度的大小。这种检测方法在臭氧浓度为0 -20wt%内时还可以保证一定的精度，但是当臭氧浓度25wt%以上时其检测精度就难以保证了。而且这种检测设备价格昂贵，且对杂质敏感，例如臭氧气体与紫外线都属于高能量物质形态，尤其对于高浓度臭氧来说，易造成物质灼烧和氧化物聚焦，妨碍检测空间的纯净如一，难以保证其检测结果的一惯性。对于精密仪器来说，是无法经常对其进行经常性拆装和维护的，所以，臭氧行业的检测一直是个大问题。

由于目前国际国内的臭氧生产水平在10wt%的左右水平，国际国内市场上没有检测超过30wt%浓度臭氧的仪器。这为我们创新生产臭氧浓度超过30wt%以上科研和生产带来很大困难。这不得不使我们自己下大力气研制这方面的检测仪器。

目前国际国内关于浓度检测方面，我们所见到的检测技术都是抽样法和针对检测物质特性而设计的。根据检测的这个内容我们可以把目前的浓度检测办法称之为间接检测法。因为，这个办法有两个转换过程，一个是抽样的复原，另一个是针对物质特性与浓度的转换，所检测的这些数据与浓度并无直接联系的过程。从这个概念来说，目前国际国内所有的浓度检测技术都是从间接，而不是直接从浓度相关的数据作为依据推出，如体积、重量的变化等。这是令人大惑不解的。这也是我们经过探索研究后值得向人们提出的一个开拓发展方向。

特别在臭氧行业，浓度的检测，人们很难想象到去跟重量、体积联系起来，主要是到目前为止，没有这方面的例子和科学技术资料涉及到这方面的研究和介绍。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种能够实时测量产生的臭氧的浓度、检测方便的气体反应浓度的检测装置。