[实用新型]一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具有效

专利信息
申请号: 201820259177.7 申请日: 2018-02-14
公开(公告)号: CN207512308U 公开(公告)日: 2018-06-19
发明(设计)人: 张会现;洪东旭;楼刚刚;卲化水 申请(专利权)人: 杞县东磁新能源有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14
代理公司: 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 代理人: 宋林清
地址: 475299 *** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 本实用新型 移动装置 单晶炉 热系统 万向轮 底座 夹具 左右移动 直拉法 滑轨 便于移动 螺母装置 物体冷却 装置结构 保护壳 夹紧臂 金属壳 冷却管 冷却液 热传导 支撑臂 节约 齿轮 夹紧 夹取 丝杆 配合 升降 电机
【说明书】:

本实用新型公开了一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具,包括万向轮、底座和丝杆,所述万向轮上方设置有底座,所述底座左侧设置有保护壳a,本实用新型在结构上设计简单合理,实用性很高,所述万向轮的设计使得装置便于移动以节约人力,所述电机配合齿轮和螺母装置等可以实现对滑轨的升降,所述移动装置可以在滑轨上左右移动,所述移动装置配合支撑臂可以实现夹紧臂的左右移动,这些装置使得本实用新型可以多方位的进行工作,所述移动装置a可以带动金属壳运动,所述冷却管内部的冷却液可以通过热传导对需要夹紧的物体进行降温,本装置结构合理,可以节约大量人力和等候物体冷却的时间,十分适合用于单晶炉的热系统装置的夹取。

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉技术领域,具体是一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶的设备,在直拉法制备单晶硅工艺中,有时需取出热系统的中保温筒后对热场进行冷却和清理。

但中保温筒尺寸大、本身石墨材质加上外边的碳毡使得整体重量较大,加之提取时内部还有处于高温、固定状态的石墨加热器,可抓取的空间比较小。在实际生产中,需要4个身高力大的员工穿戴高温保护手套小心提取,否则就需要长时间冷却,耽误生产运行。即使如此,依然有烫伤员工或中保温筒掉落损坏的事件发生,给生产带来极大不便因此,因此本领域技术人员提供了一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具,包括万向轮、底座和丝杆,所述万向轮上方设置有底座,所述底座左侧设置有保护壳a,所述保护壳a内部左右两端设置有保护壳b,所述保护壳a右侧设置有电机,所述电机轴部连接丝杆,所述丝杆左右两边表面连接齿轮,所述齿轮连接齿轮a,所述齿轮a上表面连接丝杆a,所述丝杆a表面连接螺母装置,所述螺母装置上端连接滑轨,所述滑轨左侧设置有移动装置,所述移动装置下方连接支撑臂,所述滑轨右端连接移动装置a,所述移动装置a下端连接金属壳,所述金属壳表面设置有冷却管,所述冷却管入水口连接水泵,所述水泵下方设置有储水箱;

所述支撑臂下端连接支撑壳,所述支撑壳底部设置有底板,所述底板左侧设置有电机b,所述电机b轴部连接丝杆b,所述丝杆b表面设置有螺母,所述螺母外部设置有夹紧臂;

所述移动装置包括支撑壳、电机a和滚轮,所述支撑壳内部上端设置有电机a,所述电机a轴部连接滚轮,所述滚轮外部设置有滑轨。

作为本实用新型进一步的方案:所述螺母装置设计成L形。

作为本实用新型再进一步的方案:所述滑轨前后对称设置有两个移动装置。

作为本实用新型再进一步的方案:所述螺母与夹紧臂转动连接。

作为本实用新型再进一步的方案:所述底座底部设置有四个万向轮。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型在结构上设计简单合理,使用起来操作方便快捷,实用性很高,所述万向轮的设计使得装置便于移动以节约人力,所述电机配合齿轮和螺母装置等可以实现对滑轨的升降,所述移动装置可以在滑轨上左右移动,所述移动装置配合支撑臂可以实现夹紧臂的左右移动,这些装置使得本实用新型可以多方位的进行工作,所述移动装置a可以带动金属壳运动,所述冷却管内部的冷却液可以通过热传导对需要夹紧的物体进行降温,本装置结构合理,可以节约大量人力和等候物体冷却的时间,十分适合用于对单晶炉热系统装置的夹取。

附图说明

图1为一种直拉法单晶炉用提取热系统夹具的结构示意图。

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