[实用新型]高通量等离子体反应装置

权利要求书

1.一种高通量等离子体反应装置，其特征在于，该反应装置具有夹套筒式结构，且该反应装置包括：

内筒(1)，所述内筒(1)上分别设置有反应器入口(11)和产物出口(13)，并且，所述内筒(1)中含有至少两个并列设置的反应管(14)，各个所述反应管(14)的顶部和底部分别对应相通，使得由所述反应器入口(11)进入的原料能够分别进入到各个所述反应管(14)中，以及使得各个所述反应管(14)中产生的产物能够由所述产物出口引出；

外筒(2)，所述外筒(2)嵌套在所述内筒(1)的外部，且所述外筒(2)上分别设置有导热介质入口(21)和导热介质出口(22)，由所述导热介质入口(21)引入的导热介质能够分布在所述内筒(1)的各个所述反应管(14)之间，并且所述导热介质由所述导热介质出口(22)引出；

中心高压电极(3)，所述中心高压电极(3)分别设置在所述内筒(1)的各个所述反应管(14)中；

接地电极(4)，形成所述接地电极(4)的材料为固体导电材料，所述接地电极(4)分别环绕设置在各个所述反应管(14)的内侧壁上，或者所述接地电极(4)分别形成各个所述反应管(14)的至少部分侧壁；

阻挡介质(6)，所述阻挡介质(6)设置在所述中心高压电极(3)的至少部分外表面上，使得至少部分伸入所述内筒(1)中的中心高压电极(3)的外表面上包裹有所述阻挡介质(6)；

其中，在各个所述反应管(14)中，所述阻挡介质(6)的设置位置使得所述中心高压电极和所述接地电极之间的放电区域由所述阻挡介质间隔。

2.根据权利要求1所述的高通量等离子体反应装置，其中，所述阻挡介质(6)的外侧壁和所述接地电极的内侧壁之间的距离L₁与所述放电区域的长度L₂之间的比例关系为：L₁：L₂＝1：(0.5～6000)。

3.根据权利要求1所述的高通量等离子体反应装置，其中，L₁：L₂＝1：(2～3000)。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，所述阻挡介质(6)的外侧壁和所述接地电极的内侧壁之间的距离L₁与所述阻挡介质的厚度D₁之间的比例关系为：L₁：D₁＝(0.05～100)：1。

5.根据权利要求4所述的高通量等离子体反应装置，其中，L₁：D₁＝(0.1～30)：1。

6.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，各个所述反应管(14)中的中心高压电极(3)彼此并联连接。

7.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，形成所述阻挡介质的材料为电绝缘材料。

8.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，该反应装置还包括接地线(5)，所述接地线设置在所述外筒(2)的外侧壁上，且一端与各个所述反应管(14)中的所述接地电极(4)电连接。

9.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，所述反应器入口(11)设置在所述内筒(1)的上部，所述产物出口设置在所述内筒(1)的下部和/或底部。

10.根据权利要求9所述的高通量等离子体反应装置，其中，所述产物出口包括气体产物出口(12)和液体产物出口(13)，且所述气体产物出口(12)设置在所述内筒(1)的下部，以及所述液体产物出口(13)设置在所述内筒(1)的底部。

11.根据权利要求1-3中任意一项所述的高通量等离子体反应装置，其中，各个所述反应管(14)的尺寸相同。