[实用新型]镀膜鼓有效
申请号: | 201820222576.6 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN208055454U | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 王军生 | 申请(专利权)人: | 广东中钛节能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 舒丁 |
地址: | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分水板 内筒组件 芯轴 内筒体 镀膜鼓 分水环 传动轴 第一端 加强环 螺旋条 中空的 端板 本实用新型 回水管组件 不易变形 芯轴内壁 板安装 外筒体 压力差 支撑轴 穿设 抵接 水板 外壁 支撑 | ||
本实用新型涉及一种镀膜鼓,其包括:中空的芯轴、安装于芯轴上的内筒组件、安装于内筒组件一端上且中空的传动轴、安装于内筒组件另一端上的支撑轴、套于内筒组件上的外筒体、穿设安装于传动轴上且与芯轴内壁抵接的回水管组件。内筒组件包括第一分水板、第二分水板、分水环、第一端板、第二端板、内筒体、及若干加强环、螺旋条。第一分水板安装于芯轴的一端上,第二分水板及第二端板安装于芯轴的另一端上,分水环安装于第一分水板上,第一端板安装于分水环上,内筒体的两端分别与第一分水板及第二分水板连接,加强环分别与内筒体及芯轴连接,螺旋条位于内筒体的外壁上。该镀膜鼓的结构合理,支撑强度大,内外压力差的大的情况下不易变形。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,特别是涉及一种镀膜鼓。
背景技术
柔性基材磁控溅射卷绕镀膜技术是现代柔性基材表面改性的重要方法,其采用卷对卷的生产方式,即柔性基材如纸张、PET、PI、BOPP等材料,通过卷绕系统的放卷、过辊、展平辊、镀膜鼓、收卷等部件,完成柔性基材从卷材展开、贴合镀膜鼓镀膜到镀膜后最终收卷的整个过程,其中镀膜鼓是整个卷绕系统的核心部件。由于溅射镀膜过程中基材包裹贴合在镀膜鼓表面,根据工艺需求,通过镀膜鼓对基材进行加热或冷却,所以镀膜鼓的表面精度、圆度、动平衡、真空中的强度、循环水道结构等直接影响柔性基材的产品镀膜质量。
近年来随着技术的进步,柔性基材表面镀膜的结构更加复杂,镀膜设备需要镀膜鼓能够配置更多的溅射靶,在结构上要求镀膜鼓的直径尺寸要增大,大尺寸的镀膜鼓增加了设备制造难度。由于真空卷绕镀膜机的卷绕系统通过采用墙板支撑结构,即镀膜鼓安装在支撑墙板和门板之间,镀膜鼓的直径增大,直接导致设备装配难度的增加。而且现有的镀膜鼓的结构不合理,支撑强度小,镀膜鼓处于真空环境中,随着镀膜鼓的尺寸增大,镀膜鼓的内外压力差更容易造成镀膜鼓的受力变形。
实用新型内容
基于此,有必要针对镀膜鼓存在的问题,提供一种结构合理、支撑强度大,不易变形的镀膜鼓。
一种镀膜鼓,包括:中空的芯轴、安装于所述芯轴上的内筒组件、安装于所述内筒组件一端上且中空的传动轴、安装于所述内筒组件另一端上的支撑轴、套于所述内筒组件上的外筒体、穿设安装于所述传动轴上且与所述芯轴内壁抵接的回水管组件;所述芯轴靠近所述承接轴的端部上设有若干回水孔;所述内筒组件包括第一分水板、第二分水板、分水环、第一端板、第二端板、内筒体、及若干加强环、螺旋条;所述第一分水板安装于所述芯轴的一端上,所述第二分水板及第二端板安装于所述芯轴的另一端上,所述分水环安装于所述第一分水板上,所述第一端板安装于所述分水环上,所述内筒体的两端分别与所述第一分水板及第二分水板连接,所述加强环分别与所述内筒体及芯轴连接,所述螺旋条位于所述内筒体的外壁上。
上述镀膜鼓,包括中空的芯轴、安装于芯轴上的内筒组件、安装于内筒组件一端上且中空的传动轴、安装于内筒组件另一端上的支撑轴、套于内筒组件上的外筒体、穿设安装于传动轴上且与芯轴内壁抵接的回水管组件。由于芯轴、第一分水板、第二分水板、分水环、第一端板、第二端板、内筒体、螺旋条、外筒体及回水管组件之间形成了多而长的循环水路,结构合理,保证了镀膜鼓工作时的动平衡性能,不会发生转动偏移。由于内筒组件上有分别与内筒体、芯轴连通的加强环,加强环增大了镀膜鼓的支撑强度,在真空压力下不易变形,保证了镀膜加工的进行及镀膜品质。
在其中一个实施例中,所述外筒体的两端分别与所述第一端板、第二端板连接。
在其中一个实施例中,所述外筒体的内壁与所述螺旋条抵接。
在其中一个实施例中,所述分水环上凸伸出若干进水挡条,所述进水挡条的两侧分别与所述第一分水板、第一端板连接形成若干进水通道。
在其中一个实施例中,所述分水环上设有若干进水孔,所述进水孔与所述进水通道连通。
在其中一个实施例中,所述芯轴上凸伸出若干回水挡条,所述回水挡条的两侧分别与所述第二分水板、第二挡板连接形成若干回水通道。
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