[实用新型]薄膜输送装置

权利要求书

1.一种薄膜输送装置，其特征在于，包括：

一处理槽，具有一底部与邻接该底部的多个侧面，该侧面与该底部界定一容纳空间；

多个上轮轴模块，每一上轮轴模块包含：两支撑杆；一上轮轴，安装于两支撑杆的一上端部之间；以及，一撑臂，安装于两支撑杆的一下端部之间；以及

多个下轮轴模块，每一下轮轴模块包含：两支撑杆；以及，一下轮轴，安装于两支撑杆的一下端部之间；

其中，该上、下轮轴模块彼此交错且独立安装于该容纳空间之内，该上轮轴位于该下轮轴的上方，且相邻的两上轮轴的间距小于该下轮轴的外直径，相邻的两下轮轴的间距小于该上轮轴的外直径。

2.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中该处理槽的其中一对相面对的侧面之间容置该上、下轮轴模块，且靠近该对侧面的该底部设有多对定位孔，每对定位孔分别定位该上轮轴模块的两支撑杆的下端部或该下轮轴模块的两支撑杆的下端部。

3.根据权利要求2所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中该相面对的两侧面分别设有多个平行的导引槽，一个导引槽对应一个定位孔。

4.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一上轮轴模块包含：两个C形环，分别套接在该上轮轴上且靠近该上轮轴的两端部。

5.根据权利要求4所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中相邻的两上轮轴之间由该C形环所隔开。

6.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一上轮轴的两端部设有一穿孔，两支撑杆的上端部分别穿过该上轮轴的两端部的穿孔。

7.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一下轮轴的两端部设有一穿孔，两支撑杆的下端部分别穿过该下轮轴的两端部的穿孔。

8.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一上轮轴模块包含：两个止动柄，每一止动柄枢接于该支撑杆的上端部且位于该上轮轴的上方。

9.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一下轮轴模块包含：两个止动柄，每一止动柄枢接于该支撑杆的上端部。

10.根据权利要求9所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一止动柄具有一顶部，且当该止动柄的顶部抵顶于一挡部时，安装该止动柄的支撑杆的下端部将定位于该处理槽的底部的一对应的定位孔，使该上或下轮轴模块独立安装于该容纳空间之内。

11.一种薄膜输送装置，用以在一化学镀膜装置中输送一薄膜经过一处理液，其特征在于，包括：

一处理槽，具有一容纳该处理液的空间；以及

多个上轮轴与多个下轮轴，安装于该空间之内，

其中该上轮轴位于该下轮轴的上方，且相邻的两上轮轴的间距小于该下轮轴的外直径，相邻的两下轮轴的间距小于该上轮轴的外直径。