[实用新型]基板夹具和基板承载装置

说明书

本实用新型涉及一种基板夹具，包括底座和夹持杆，所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上，所述夹持杆的一端设置有第一夹持部，所述夹持杆的另一端设置有传动连接部；所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部，所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构；其中，在所述压力驱动结构的控制下，所述夹持杆绕所述枢接部摆动，以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。本实用新型的有益效果是：采用杠杆式的夹持方式，且采用压力驱动的方式控制用于夹持基板的所述第一夹持部和所述第二夹持部的靠近或远离，提高夹持基板的夹紧力的稳定性，使用寿命长，有效的降低破片风险。

技术领域

本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种基板夹具和基板承载装置。

背景技术

玻璃基板在Sputter(喷镀)过程中，要经过Robot(机器人)取片、挂片及腔内镀膜等过程，玻璃基板的承载是通过框架以及设置在框架周边的Spring(弹簧片)进行夹紧，由于玻璃基板较大且厚度很薄，很容易发生破片，与Spring(弹簧片)相关的破片占很大比例。

目前使用Spring夹持玻璃基板，主要存在以下问题：

1)变形问题：使用过程中，弹簧片容易发成变形，产生中间翘起、歪斜等问题，容易造成破片；

2)弹性问题：顶针进行支撑基板时，过程容易造成弹簧片弹性缺失，在传送过程中，玻璃基板容易晃动与弹簧片发生摩擦或者跳出Spring造成破片；

3)结构问题：存在弹簧片与玻璃基板线接触甚至点接触的情况，容易发生应力集中产生破片；由于工艺问题，弹簧片个体之间存在一定的差异，相当比例的弹簧片偏长或者偏短，不能保证均一性；

4)成本问题：弹簧片的寿命在1000次左右，每个承载框架需要32个弹簧片，日常生产中需要频繁维护，维护成本巨大；

5)其他问题：频繁更换弹簧片，容易发生牙套损坏、螺丝断裂等问题，浪费人力成本，由于运输台车较高，作业存在较大风险。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板夹具和基板承载装置，解决基板容易破片的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种基板夹具，包括底座和夹持杆，

所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上，所述夹持杆的一端设置有第一夹持部，所述夹持杆的另一端设置有传动连接部；

所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部，所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构；

其中，在所述压力驱动结构的控制下，所述夹持杆绕所述枢接部摆动，以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。

进一步的，所述压力驱动结构包括：

用于提供动力源的压力源；

通过流体回路与所述压力源连接的流体压力驱动缸，所述流体压力驱动缸与所述传动连接部连接；

及，设置于所述流体回路上的控制开关组件，用于控制所述流体压力驱动缸内的流体流向，以使所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。

进一步的，

所述流体压力驱动缸包括第一腔室和第二腔室，所述控制开关组件包括换向电磁阀，所述流体回路包括连接在所述第一腔室和所述换向电磁阀之间的第一管路、及连接在所述第二腔室和所述换向电磁阀之间的第二管路；

所述换向电磁阀具有第一状态和第二状态；