[发明专利]压电式麦克风

说明书

本发明提供了一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底及固定于所述基底上的压电悬臂梁振膜，所述压电悬臂梁振膜包括与所述基底固定连接的固定端及与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的活动端，所述压电式麦克风还包括支撑背板，所述支撑背板包括与所述压电悬臂梁振膜的活动端间隔相对设置的支撑臂以及固定所述支撑臂的固定臂。与相关技术相比，本发明提供的压电式麦克风的稳定性更佳。

【技术领域】

本发明涉及声电转换领域，尤其涉及一种压电式麦克风。

【背景技术】

MEMS麦克风现已应用普及在消费性电子产品中。传统的MEMS麦克风主要为电容式麦克风，其包括基底以及形成在基底上的背板、振膜。所述振膜与背板构成了电容系统。声波的振动会带动麦克风的振膜做往复振动，进而改变振膜和背板之间的距离以及平板电容值。通过检测电容的变化，就可以把声音信号转换为电信号。当移动设备处于多尘环境中，空气中的颗粒物容易进入并卡在麦克风的振膜和背板之间，导致振膜无法移动；当移动设备处于潮湿环境中，麦克风的振膜和背板之间容易凝结水珠，从而使得振膜和背板被水珠粘连。以上两种情况均会导致麦克风失效。为了避免此类问题，压电式MEMS麦克风应运而生。

压电式麦克风的制作工艺简单，因采用单层膜的设计架构使其不受空气阻尼的限制，SNR自然提升。此外压电式麦克风只包含振膜，不包含背板，从根本上杜绝了空气中的颗粒物和水汽对麦克风带来的危害，极大地提高了麦克风的可靠性。

相关技术中的压电式麦克风的振膜的膜瓣很多都是一端固定一端自由的悬臂梁结构，当外部的声音信号从声孔中传入，声压引起悬臂梁形变，产生电压变化，从而感知声学信号。

然而，相关技术中的压电式麦克风并未设置支撑结构，当压电式麦克风受到较大的声压悬臂梁结构发生较大形变时，由于振膜的材料较为脆弱，悬臂梁常常会从应力集中的地方折断，这样极大的影响到了压电式麦克风的稳定性。

因此，有必要提供一种改进的压电式麦克风来解决上述问题。

【发明内容】

针对相关技术中的压电式麦克风在受到较大声压下，振膜容易发生断裂，从而影响压电式麦克风的稳定性的技术问题，本发明提供了一种稳定性更佳的压电式麦克风。

一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底及固定于所述基底上的压电悬臂梁振膜，所述压电悬臂梁振膜包括与所述基底固定连接的固定端及与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的活动端，所述压电式麦克风还包括支撑背板，所述支撑背板包括与所述压电悬臂梁振膜的活动端间隔相对设置的支撑臂以及固定所述支撑臂的固定臂。

优选的，所述支撑臂设置于所述压电悬臂梁振膜远离所述背腔的一侧。

优选的，所述固定臂固定于所述基底或所述压电悬臂梁振膜的固定端。

优选的，所述固定臂的延伸方向垂直于所述支撑臂的延伸方向。

优选的，所述支撑臂设置于所述压电悬臂梁振膜靠近所述背腔的一侧，所述压电式麦克风还包括设置于所述支撑背板与所述压电悬臂梁振膜固定端之间的间隔层，从而使得所述压电悬臂梁振膜的活动端与所述支撑背板的支撑臂间隔设置。

优选的，所述支撑背板包括设置于所述压电悬臂梁振膜远离所述背腔一侧的第一支撑背板以及设置于所述压电悬臂梁振膜靠近所述背腔一侧的第二支撑背板，所述压电式麦克风还包括设置于所述第二支撑背板与所述压电悬臂梁振膜固定端之间的间隔层。

优选的，所述压电悬臂梁振膜由若干大小相同的膜瓣共同组成，且每两相邻所述膜瓣之间间隔设置，各所述膜瓣均包括与所述基底固定连接的所述固定端及与所述固定端相对的所述活动端。

优选的，所述膜瓣为四个，四个所述膜瓣均呈三角形结构，四个所述膜瓣将所述压电悬臂梁振膜围成矩形结构。

优选的，所述膜瓣为四个，四个所述膜瓣均呈扇形结构，四个所述膜瓣将所述压电悬臂梁振膜围成圆形结构。