[发明专利]一种抛光垫有效

专利信息
申请号: 201811612986.2 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109824854B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 罗乙杰;刘敏;朱顺全 申请(专利权)人: 湖北鼎汇微电子材料有限公司
主分类号: C08G18/76 分类号: C08G18/76;C08G18/48;C08G18/32;C08G18/10;C08J9/32;C08J9/30;B24B37/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 430057 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光
【权利要求书】:

1.一种抛光垫, 含有聚氨酯抛光层,所述聚氨酯抛光层由异氰酸酯封端的预聚体、中空微球聚合物和固化剂为原料反应制得,其特征在于, 所述异氰酸酯封端的预聚体是由多异氰酸酯与含有芳环的聚醚多元醇反应而成,其中,所述含有芳环的聚醚多元醇中含有7%~20wt%质量百分数的芳环;

所述聚氨酯抛光层的密度为0.8~1.0g/cm3

所述异氰酸酯封端的预聚体中含有3.0~8.8wt%的未反应异氰酸基团(-NCO)。

2.如权利要求1所述的抛光垫, 其特征在于,所述含有芳环的聚醚多元醇中含有7%~15wt%质量百分数的芳环。

3.如权利要求1所述的抛光垫, 其特征在于,所述含有芳环的聚醚多元醇中的芳环为全碳芳环或者含杂原子芳环。

4.如权利要求3所述的抛光垫, 其特征在于,所述芳环来源于对苯二酚或间苯二酚。

5.如权利要求1所述的抛光垫, 其特征在于,所述异氰酸酯封端的预聚体为具有两个-NCO基团封端的预聚物。

6.如权利要求1-3任一项所述的抛光垫, 其特征在于,所述多异氰酸酯含有90摩尔%以上的芳香族异氰酸酯。

7.如权利要求1-3任一项所述的抛光垫, 其特征在于,所述固化剂为4,4’-亚甲基-双-(2-氯苯胺)或4,4’-亚甲基-双-(3-氯-2,6-二乙苯胺) 。

8.如权利要求1-3任一项所述的抛光垫, 其特征在于,所述含芳环的聚醚多元醇是以芳香族多元酚为起始剂,与扩链单元聚合形成。

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