[发明专利]超高真空用大行程精密压电位移台及其安装方法

权利要求书

1.一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台还包括：

所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接，通过位于侧面的紧固螺丝调节交叉滚珠导轨组件相互绞合产生的预紧力；

所述位移台基座和移动台面之间还设有蓝宝石片，所述蓝宝石片与移动台面固定连接；

所述位移台基座的中部具有贯通腔，上述贯通腔内置有浮动滑块、蓝宝石球、铍铜片和至少一个压电陶瓷腿，各个压电陶瓷腿的上部与蓝宝石片相互接触并且滑动配合，各个压电陶瓷腿的下部与浮动滑块粘接，所述蓝宝石球部分内嵌于浮动滑块，所述蓝宝石球部分内嵌于铍铜片，所述铍铜片的两端端部同时与位移台基座固定连接，所述浮动滑块与铍铜片之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，所述交叉滚珠导轨具有V型槽。

3.根据权利要求2所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，所述V型槽的表面具有二硫化钼保护层。

4.根据权利要求1所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，位于所述交叉滚珠导轨的两侧的紧固螺丝用于限位。

5.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，所述压电陶瓷腿的数量为2个。

6.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台的行程为27mm，所述超高真空用大行程精密压电位移台的整体尺寸为40mm*40mm*12mm。

7.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的超高真空用大行程精密压电位移台，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台采用无磁材质制成。

8.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的超高真空用大行程精密压电位移台的超高真空用大行程精密压电位移台安装方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：固定两组交叉滚珠导轨组件中的其中3个交叉滚珠导轨，同时暂时固定上述两组交叉滚珠导轨组件中的剩余1个交叉滚珠导轨；

步骤S2：拆卸交叉滚珠导轨两侧的沿交叉滚珠导轨的长度方向设置的紧固螺丝，插入交叉滚珠导轨保持器后装回紧固螺丝，在移动台面左右移动的同时将交叉滚珠导轨保持器调节至中央位置；

步骤S3：将用于测量的量表分别固定于移动台面的上表面和侧面；

步骤S4：将移动台面移动至一侧的单边尽头，同时预锁紧远离该侧的部分紧固螺丝；

步骤S5：将移动台面移动至另一侧的单边尽头，同时预锁紧远离该侧的部分紧固螺丝；

步骤S6：将移动台面移动至中央位置，同时预锁紧位于中部的部分紧固螺丝。

9.根据权利要求8所述的超高真空用大行程精密压电位移台安装方法，其特征在于，上述超高真空用大行程精密压电位移台安装方法还包括步骤S7：

步骤S7：分别调节位于各处的紧固螺丝直至移动台面的间隙为零。

10.根据权利要求9所述的超高真空用大行程精密压电位移台安装方法，其特征在于，上述超高真空用大行程精密压电位移台安装方法还包括步骤S8：

步骤S8：将步骤S1中的暂时固定的剩余1个交叉滚珠导轨再次予以紧固。

11.根据权利要求8所述的超高真空用大行程精密压电位移台安装方法，其特征在于，步骤S1中的剩余1个交叉滚珠导轨为与移动台面固定连接的交叉滚珠导轨。