[发明专利]带离散结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极，设置在基底上侧；

顶电极；和

压电层，设置在底电极上侧以及底电极与顶电极之间，

其中：

声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；

所述谐振器还包括至少一个离散结构，所述离散结构位于有效区域内侧，且沿有效区域边缘呈条状延伸设置，每个离散结构包括多个离散单元。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述离散结构为环形离散结构。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

所述离散结构与所述有效区域边缘的横向距离保持不变。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述至少一个离散结构包括一个离散结构。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述离散结构设置在顶电极上侧。

6.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述离散单元为凸起。

7.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述离散单元为凹陷。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的谐振器，其中：

两个相邻离散单元之间的节距为1um-10um，或者为体声波谐振器并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的整数倍。

9.根据权利要求7或8所述的谐振器，其中：

单个离散单元的径向尺寸和/或横向尺寸为0.5um-6um，或者为并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的四分之一或其奇数倍。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中：

所述离散结构距离所述有效区域边缘的距离为0。

11.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述至少一个离散结构包括至少两个离散结构，所述至少两个离散结构在径向方向上间隔开。

12.根据权利要求11所述的谐振器，其中：

所述至少两个离散结构包括由凸起组成的凸起离散结构和/或由凹陷组成的凹陷离散结构。

13.根据权利要求11或12所述的谐振器，其中：

径向上相邻的两个离散结构在径向方向上的节距为1um-10um，或者为体声波谐振器并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的整数倍。

14.根据权利要求13所述的谐振器，其中：

每个离散结构的相邻离散单元在横向方向上的节距为1um-10um，或者为体声波谐振器并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的整数倍。

15.根据权利要求14所述的谐振器，其中：

单个离散单元的径向尺寸和/或横向尺寸为0.5um-6um，或者为体声波谐振器并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的四分之一或其奇数倍。

16.根据权利要求14或15所述的谐振器，其中：

在横向方向上，径向上相邻的两个离散结构中，一个离散结构的一个离散单元与另一个离散结构中与其邻近的一个离散单元之间的横向节距为0-5um，或者为体声波谐振器并联谐振频率处S1模式兰姆波波长的四分之一或其整数倍。

17.根据权利要求16所述的谐振器，其中：

处于外侧的离散结构距离所述有效区域边缘的径向距离为0。