[发明专利]一种镀膜设备的调试方法和调试机台有效

专利信息
申请号: 201811540663.7 申请日: 2018-12-17
公开(公告)号: CN109612758B 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 潘柏松 申请(专利权)人: 惠科股份有限公司
主分类号: G01M99/00 分类号: G01M99/00;C23C14/32
代理公司: 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人: 邢涛
地址: 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 设备 调试 方法 机台
【说明书】:

发明公开了一种镀膜设备的调试方法和调试机台。调试方法步骤包括:准备测试用素玻璃;将测试用素玻璃进行镀膜;对镀膜后的测试用素玻璃进行检测,若符合标准,判定镀膜设备调试成功;若不符合标准,判定镀膜设备调试失败,执行对镀膜后的测试用素玻璃进行拔膜的步骤,并重新执行将测试用素玻璃进行镀膜的步骤。通过循环不断的检测,使镀膜设备调试出最好的参数,进行产品的大量生产,提高生产效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种镀膜设备的调试方法和调试机台。

背景技术

随着显示技术的发展,人们对显示面板的需求量越来越大。在显示面板的制作过程中,需要对素玻璃通过镀膜设备,诸如真空离子镀膜设备(Physical Vapor Deposition,PVD)进行镀膜的操作,镀膜设备镀膜后进行后续的制作,诸如曝光显影蚀刻等,以形成显示面板。

在镀膜的过程中,因为镀膜技术以及成膜环境的要求比较高,比如说膜厚要求等,在镀膜设备重启或者产品规格以及镀膜环境发生变化后,镀膜时容易出现不符合预设要求的情况,造成产品不合格和材料的浪费。

发明内容

本发明的目的是提供一种防止镀膜设备宕机,提高素玻璃利用率的一种镀膜设备的调试方法和调试机台。

本发明公开了一种镀膜设备的调试方法,其特征在于,包括步骤:

A:准备测试用素玻璃;

B:将测试用素玻璃进行镀膜;

C:对镀膜后的测试用素玻璃进行检测,若符合标准,判定镀膜设备调试成功;若不符合标准,判定镀膜设备调试失败,执行步骤D;

D:对镀膜后的素玻璃进行拔膜,对镀膜设备进行调试后,重新执行步骤B。

可选的,所述步骤B中,还包括初始化当前拔膜次数M=0的步骤;

所述步骤D中,还包括记录拔膜次数M=M+1的步骤;

所述步骤D中,在对镀膜后的素玻璃进行拔膜的步骤之后,还包括以下步骤:

E:判断当前拔膜次数M是否满足条件M≥第一预设阈值,若满足,则执行步骤F;若不满足,则执行步骤G;

F:将拔膜后的素玻璃标记为产品用素玻璃,换一片新的素玻璃,作为当前机台测试用素玻璃,重新执行步骤B;

G:以当前机台测试用素玻璃,重新执行步骤B。

可选的,所述第一预设阈值等于2。

可选的,所述步骤B中,包括记录拔膜情况的步骤,所述拔膜情况包括拔膜成功或者拔膜不成功;

其中,初始化当前拔膜情况为不成功,在步骤E中,当前拔膜次数M满足条件M≥第一预设阈值,且拔膜情况为拔膜成功时,则执行步骤F;否则,则执行步骤G。

可选的,步骤F中,标记为产品用素玻璃的玻璃,放置至镀膜设备调试成功后,作为产品加工用的素玻璃。

可选的,所述步骤B中,还包括初始化当前拔膜次数M=0的步骤;

所述步骤D中,还包括记录拔膜次数M=M+1的步骤;

所述步骤D中,在对镀膜后的素玻璃进行拔膜的步骤之后,还包括以下步骤:

E:判断当前拔膜次数M是否满足条件M≥2,若满足,则执行步骤F1;若不满足,则执行步骤G;

F1:将拔膜后的测试用素玻璃再次返回B步骤,在执行完步骤B后执行步骤F2;

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