[发明专利]多悬浮栅阴极结构、电子枪、电子加速器及辐照装置

权利要求书

1.一种多悬浮栅阴极结构，其特征在于，包括：

阴极，用以发射电子束；

抑制发射栅，位于所述阴极的发射面的一侧；

第一悬浮栅，位于所述抑制发射栅背离所述阴极的本体的一侧，该第一悬浮栅的边缘处设有第一悬浮栅阴极，以及与该第一悬浮栅阴极间隔相对设置的第一悬浮栅阳极，该第一悬浮栅阳极与外部的第一偏压电源连接，以调整所述第一悬浮栅的偏压，减小分束团离开第二悬浮栅的散角；

第二悬浮栅，位于所述第一悬浮栅背离所述抑制发射栅的一侧，该第二悬浮栅的边缘处设有第二悬浮栅阴极，以及与该第二悬浮栅阴极间隔相对设置的第二悬浮栅阳极，该第二悬浮栅阳极与外部的第二偏压电源连接，以调整所述第二悬浮栅的偏压，减小分束团离开所述第二悬浮栅的散角，以降低总束团的发射度。

2.根据权利要求1所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述第二偏压电源提供的第二偏压的幅值大于所述第一偏压电源提供的第一偏压的幅值，从而使第二悬浮栅的直流分量幅值高于第一悬浮栅的直流分量幅值。

3.根据权利要求2所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述第一悬浮栅阳极与第一偏压电源之间连接一第一滤波电路。

4.根据权利要求2所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述第二悬浮栅阳极与第二偏压电源之间连接一第二滤波电路。

5.根据权利要求1~4之一所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述抑制发射栅上设有多个第一孔，所述第一悬浮栅和第二悬浮栅上均设有与所述多个第一孔对应的第二孔。

6.根据权利要求5所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述第一孔的孔径小于5mm。

7.根据权利要求5所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述抑制发射栅与所述阴极之间具有预设间隙，该预设间隙小于1mm。

8.根据权利要求5所述多悬浮栅阴极结构，其特征在于，所述第一悬浮栅与第二悬浮栅之间的间隙距离在5mm以内。

9.一种微波电子枪，其特征在于，该微波电子枪的腔室内设有权利要求1~8任一项所述的多悬浮栅阴极结构。

10.一种电子加速器，其特征在于，包括权利要求9所述微波电子枪，以及与该微波电子枪连接的加速器。

11.一种辐照装置，其特征在于，包括权利要求10所述电子加速器。