[发明专利]一种石英晶片治具的清洗系统及清洗方法

权利要求书

1.一种石英晶片治具的清洗系统，其特征在于，包括：

一运行装置，所述运行装置包括一拆料装置、一软管、一连接器、一电磁阀、一初效过滤器、一鼓风机及、一水管，所述运行装置用以完成所述清洗系统的清洗过程；

一控制装置，所述控制装置包括，一电源装置、一接近开关、一继电器、一时间继电器、一接触器及一插座，所述控制装置用以控制所述清洗系统的运行过程；

所述拆料装置通过所述软管连接至所述连接器的第一通孔；

所述连接器的第二通孔通过所述软管连接所述初效过滤器；

所述电磁阀安装在所述连接器的第三通孔上；

所述接触器与所述电磁阀的控制端相连；

所述初效过滤器通过所述水管连接至所述鼓风机的进风口；

所述鼓风机的出风口连接所述水管；

所述接近开关安装在所述拆料装置上；

所述电源装置、所述接近开关、所述继电器、所述时间继电器、通过导线依次连接到至所述插座；

所述插座与所述鼓风机通过导线相连。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述拆料装置上安装一真空表。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述电源装置的输入端连接市电；所述电源装置的输出端连接所述接近开关的电源端。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述电源装置包括24V的电源装置。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述拆料装置的内部设置一凹槽，用以放置所述石英晶片治具。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述凹槽的尺寸与所述石英晶片治具的尺寸相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种石英晶片治具清洗系统，其特征在于，所述连接器的第一通孔的孔径大小与所述软管的直径相匹配。

8.一种石英晶片治具的清洗方法，用于上述权利要求1-7任意一项所述的清洗系统，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1:将所述石英晶片治具放入拆料装置中，以使所述接近开关闭合导通，同时使得所述继电器通电；

步骤S2：采用所述继电器给所述时间继电器常供电，以使所述电磁阀与所述鼓风机工作；

步骤S3：所述鼓风机得进气口将所述石英晶片治具的杂质与污染物经过软管、连接器、初效过滤器和水管吸进所述鼓风机中，并通过所述鼓风机的出气口排出所述杂质和污染物。

9.根据权利要求8所述的一种石英晶片治具清洗方法，其特征在于，所述时间继电器设置一预设时间，以使所述电磁阀与所述鼓风机工作于所述时间继电器的预设时间内。

10.根据权利要求9所述的一种石英晶片治具清洗方法，其特征在于，所述时间继电器的预设时间为5至10秒。