[发明专利]一种多晶硅棒破碎的装置和方法在审
| 申请号： | 201811469114.5 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111229421A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李力;刘逸枫;付绪光;沈峰;阮继政;郭磊;田野;徐浩;陈其国 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B02C19/18 | 分类号： | B02C19/18;B02C23/00 |
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| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 破碎 装置 方法 | ||
1.本发明涉及一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征包括采用电阻加热炉装置将多晶硅棒进行预热，预热后用电磁线圈采用电磁感应方法将多晶硅棒进一步加热，将加热后的多晶硅棒进行用液氮或者高纯水进行快速冷却，以使多晶硅棒内部产生应力，从而破碎多晶硅棒。
2.根据权利要求1所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，所述采用的加热多晶硅棒的装置是电磁加热。
3.根据权利要求1所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，所述多晶硅棒在电磁加热硅棒前，用电阻加热炉进行预热。
4.根据权利要求2所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，电磁加热多晶硅的温度为350-850℃。
5.根据权利要求3所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，用电磁加热硅棒加热前，用电阻加热炉将硅棒预热至150-350℃。
6.根据权利要求1所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，加热后的硅棒用液氮或者高纯水进行快速冷却。
7.根据权利要求2所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，电磁加热线圈由2-10个线圈组成。
8.根据权利要求1所述的一多晶硅棒破碎的装置和方法，其特征在于，用电磁线圈之间有由石英或氮化硅、碳化硅、三氧化二铝制备的支撑装置支撑。
9.根据权利要求2所述的一多晶硅棒破碎的装置和系统，其特征在于，采用电磁线圈加热至所需温度后，保持恒温15-60分钟。
10.根据权利要求2所述的一多晶硅棒破碎的装置和系统，其特征在于，多晶硅棒加热速率控制在50℃/小时-200℃/小时。
11.根据权利要求3所述的一多晶硅棒破碎的装置和系统，其特征在于，多晶硅棒预热速率控制在50℃/小时-200℃/小时。
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