[发明专利]一种电子纸驱动基板

说明书

本发明公开了一种电子纸驱动基板，包括玻璃基板，所述玻璃基板上设有第一ITO层，所述第一ITO层上设有微杯与第一光学胶层，所述第一光学胶层上设有薄膜层，所述薄膜上设有第二ITO层，所述第二ITO层上设有第一光刻胶层，所述第一光刻胶层上设有第二光学胶层与第三ITO层，所述第三ITO层上设有第四ITO层与第三光学胶层，所述第三光学胶层上设有第二光刻胶层，所述第二光刻胶层上设有第五ITO层，所述第五ITO层上设有电活性聚合物薄膜，所述电活性聚合物薄膜上设有第六ITO层，所述第六ITO层与第四ITO层电连接。本发明的有益效果：通过微机电开关取代薄膜晶体管纯物理接触，解决tft基板漏电问题以及反弹电压问题，并且显著降低了导通时基板自身功耗。

技术领域

本申请属于半导体技术领域，具体地说，涉及一种电子纸驱动基板。

背景技术

目前的电子纸驱动都是采用tft基板，由于tft基板是集成了无数个薄膜晶体管，每个薄膜晶体管控制一个像素，由m行gate控制信号与m列source信号形成矩阵来驱动像素输出需要的电压。如图1所示。由于采用了薄膜晶体管作为开关，在薄膜晶体管道通时就一定程度上就增加了能量的消耗。同时开关薄膜晶体管，COM端还会产生反弹电压，所以目前电子纸驱动都要给com端提供一个抵消电压，抵消反弹电压对电子纸的影响。TFT关断时仍有较小的漏电流通过，漏电流也对电子纸产生影响，在光照下由于薄膜晶体管属于半导体因此会产生较大的漏电流，会导致驱动ic损坏及显示异常。通常需要加遮光层来解决露点问题。

发明内容

有鉴于此，本申请所要解决的技术问题是提供了一种电子纸驱动基板，采用微机电系统，利用静电力使薄膜变形形成微开关，有效解决了漏电以及反弹电压问题。

为了解决上述技术问题，本申请公开了一种电子纸驱动基板，包括玻璃基板，所述玻璃基板上设有第一ITO层，所述第一ITO层上设有微杯与第一光学胶层，所述第一光学胶层上设有薄膜层，所述薄膜上设有第二ITO层，所述第二ITO层上设有第一光刻胶层，所述第一光刻胶层上设有第二光学胶层与第三ITO层，所述第三ITO层上设有第四ITO层与第三光学胶层，所述第三光学胶层上设有第二光刻胶层，所述第二光刻胶层上设有第五ITO层，所述第五ITO层上设有电活性聚合物薄膜，所述电活性聚合物薄膜上设有第六ITO层，所述第六ITO层与第四ITO层电连接。

更佳的：所述第六ITO层包括多个T型单元，所述第二光刻胶层、第五ITO层与电活性聚合物薄膜上均设有过孔，所述T型单元设于过孔内且与第四ITO层电连接。

更佳的：所述第一ITO层包括多条等宽等间距的ITO线，所述第二ITO层包括多条与第一ITO层上的ITO线垂直的ITO走线。

更佳的：所述第二光学胶层的形状与微杯相同或者与微杯的形状相适配。

本申请还提供了一种上述电子纸驱动基板的制造方法，包括以下步骤：

S1：在光玻璃上按分辨率要求镀n条等宽等间隔的ITO线，形成第一ITO层；

S2：在第一ITO层上用光刻胶制m*n个的微杯；

S3：在薄膜上丝印第一光学胶层；

S4：利用热滚压法将薄膜层贴附到微杯上；

S5：在薄膜层上镀整面第二ITO层；

S6：在第二ITO层上镀第一光刻胶层；

S7：在第一光刻胶层上镀第三ITO层，每个独立ITO外形为正方形；

S8：在第三ITO层的间隙中按微杯外形丝印第二光学胶层；

S9：在另一块光玻璃上镀整面基层ITO层；

S10：在基层ITO层上镀带过孔的电活性聚合物薄膜；