[发明专利]一种精密可微控调整的球阀装置

权利要求书

1.一种精密可微控调整的球阀装置，包括球阀腔体(6)和置于腔体(6)内的可转动阀芯，其特征在于：于腔体(6)上焊接有上下二端开口的套筒(4)，于套筒(4)下开口端的腔体(6)侧壁面上设有通孔，可控制阀芯转动的转轴，转轴下端与阀芯固接，转轴上端穿过套筒(4)与一用于精细调节阀芯转动的微调旋钮(2)连接，于微调旋钮(2)下与套筒(4)之间的转轴上设有用于粗略调节阀芯转动的粗调手柄(3)；

微调旋钮(2)为上端密闭下端开口的圆筒状结构，圆筒状结构内壁面沿径向设有一圈圆环形齿轮齿，构成一环形齿轮A；于转轴上端侧壁面上沿径向设有一圈圆环形齿轮齿，构成一环形齿轮B；环形齿轮A通过连动齿轮与环形齿轮B传动连接。

2.根据权利要求1所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

于腔体(6)的流体进出口处分别连接管路紧固件(5)；管路紧固件(5)由一形状为六边形的中部设有通孔的螺帽和中部带通孔的卡套组成；卡套一端插入流体进出口，螺帽与流体进出口螺合、并将卡套固定于流体进出口处。

3.根据权利要求1或2所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

流体从一管路紧固件(5)通入，经过球阀转动腔体(6)内部后到达另一管路紧固件(5)流出；球阀接入流体管路里后，管路内通入一定流速的流体，转动粗调手柄(3)即可带动阀芯，导致腔体(6)内部的阀芯转动一定的角度，从而阻挡一部分一定流速的流体，从而限制其流速，当调整流速达到所需范围附近后，旋转微调旋钮(2)，可以更加精细微量调整阀芯旋转角度，更加精细控制流体的流速。

4.根据权利要求1所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

腔体(6)两端连接的管路紧固件(5)为中间圆孔的套筒结构，并且平行、同轴放置；一定流速的流体从一管路紧固件(5)的一端进入球阀转动腔体(6)内部，从另一管路紧固件(5)另一端吹出。

5.根据权利要求1或2所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

腔体(6)、管路紧固件(5)和套筒(4)为圆筒状或者方块状；材料为不锈钢等金属或者表面镀了金属的材料；管路紧固件(5)有两个形状为六边形的螺帽和卡套组成；六边形的螺帽和卡套孔径为6.6mm。

6.根据权利要求1所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

微调旋钮(2)和转轴通过紧固螺钉(1)固接。

7.根据权利要求1所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

粗调手柄(3)与转轴联动，粗调手柄(3)转动角度与转动相同；连动齿轮分别与环形齿轮A和环形齿轮B相咬合，微调旋钮(2)转动完整一圈可带动球阀转动0.5度。

8.根据权利要求1或7所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

微调旋钮(2)与转轴为不均等齿轮连接，这样微调旋钮(2)转动很大角度，相对连接的球阀才会转动非常小的角度。

9.根据权利要求1所述的精密可微控调整的球阀装置，其特征在于：

于腔体(6)的流体进出口处分别连接有管路紧固件(5)；一管路紧固件连接于质谱分析仪器中电离源腔体管路上，另一管路紧固件与气源相连，精密可微控调整的球阀装置可以控制电离源内的真空度维持在1Torr～10Torr。