[发明专利]一种相邻拼接镜检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种相邻拼接镜检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

将相干光光源分成两束具有预设光程差的平行光束；

分束器将两束平行光束分别入射到相邻两拼接镜上进行反射；

光束干涉器对反射后的两束平行光束进行折转交叉，对折转交叉后的两束光束进行干涉产生干涉条纹；

参数计算单元由干涉条纹信息推算出相邻两拼接镜之间的参数信息；

所述分束器包括：直角三角形棱镜、平行四边形棱镜，所述直角三角形棱镜与角度与其互补的平行四边形棱镜胶合连接，胶合层对所述相干光光源实现半透射半反射，所述光程差为平行四边形棱镜的底边边长。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对折转交叉后的两束光束进行干涉产生干涉条纹包括：

对折转交叉后的两束光束进行汇聚干涉，调节汇聚干涉后光束的光线强度，并经准直处理后呈平行光束射出。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法在将相干光光源分成两束具有预设光程差的平行光束之前，还包括步骤：

将相干光光源进行扩束，由细光束扩束为粗光束。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法在对反射后的两束平行光束进行折转交叉之前，还包括步骤：

对反射后的两束平行光束截取有效区域的光束。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法在由干涉条纹信息推算出相邻两拼接镜之间的参数信息之前，还包括步骤：

对干涉的两束平行光束在垂直于光轴方向的平面上进行三维平移和两维倾斜调整，产生清晰稳定的干涉条纹。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述干涉条纹信息包括产生干涉条纹前两束平行光束的波前信息，所述参数信息包括法向光程差及倾斜误差。

7.一种相邻拼接镜检测系统，其特征在于，包括：

激光器，用于产生相干光光源；

分束器，用于将相干光光源分成两束具有预设光程差的平行光束并入射到相邻两拼接镜上进行反射；

光束干涉器，用于对反射后的两束平行光束进行折转交叉，对折转交叉后的两束光束进行干涉产生干涉条纹；

参数计算单元，用于由干涉条纹信息推算出相邻两拼接镜之间的参数信息；

所述分束器包括：直角三角形棱镜、平行四边形棱镜，所述直角三角形棱镜与角度与其互补的平行四边形棱镜胶合连接，胶合层对所述相干光光源实现半透射半反射，所述光程差为平行四边形棱镜的底边边长。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述光束干涉器包括：

等腰三角形棱镜，用于对反射后的两束平行光束进行折转交叉；

汇聚透镜，用于对折转交叉的两束光束进行汇聚干涉；

光阑，用于调节汇聚干涉后光束的光线强度；

准直透镜，用于对调节光线强度后的光束进行准直处理将光束平行射出。

9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

扩束器，设置在所述激光器和所述分束器之间，用于将相干光光源进行扩束，由细光束扩束为粗光束；

孔掩膜，设置在相邻两所述拼接镜与所述光束干涉器之间，用于对反射后的两束平行光束截取有效区域的光束；

所述参数计算单元包括成像系统及移动部件，所述移动部件用于对所述成像系统进行位置移动，使得所述成像系统对干涉的两束平行光束在垂直于光轴方向的平面上进行三维平移和两维倾斜调整，在所述成像系统上接收到清晰稳定的干涉条纹。