[发明专利]一种单晶炉导流筒

说明书

本发明公开一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽，所述的外筒、内同为圆台形，所述的外筒底部直径小于顶部直径，所述的内筒底部直径小于顶部直径，所述的凸起与内筒采用焊接结构，所述的凹槽与内筒采用焊接结构，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接，所述凸起的长度大于凹槽的长度。

技术领域

本发明涉及单晶体制备领域，具体涉及一种单晶炉导流筒。

背景技术

当前，单晶炉导流筒普遍由石墨制成，并分为内外两层。它在单晶硅棒拉制过程中，起着高温气体导流的作用，这既要求其具有良好的耐热性能和力学性能，又要求它具有一定的保温性能，以保持导流筒内单晶硅棒区与熔融的多晶硅液区的温差。但是，由于石墨本身的强度较低，其抗折强度约为13MPa左右，在导流过程中，外层导流筒极有可能发生断裂坠埚现象，这就会导致埚内的原料硅液报废，并影响直拉生产的继续进行，从而产生极大的浪费。

发明内容

本发明针对现有技术的不足之处，提供一种单晶炉导流筒。

本发明解决现有技术问题的方案是：一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。

上述方案的优选，所述的外筒、内同为圆台形。

上述方案的优选，所述的外筒底部直径小于顶部直径。

上述方案的优选，所述的内筒底部直径小于顶部直径。

上述方案的优选，所述的凸起与内筒采用焊接结构。

上述方案的优选，所述的凹槽与内筒采用焊接结构。

上述方案的优选，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接。

上述方案的优选，所述凸起的长度大于凹槽的长度。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本发明在内外层导流筒上分别设有凸起和凹槽，凸起和凹槽通过嵌合方式连接，当外层导流筒发生断裂时，其凹槽可以咬住内层导流筒的凸起，从而避免坠埚，保证原料硅液不受污染以及直拉生产的继续进行。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2是本发明的外层导流筒的结构示意图；

图3是本发明的内层导流筒的结构示意图；

图中：1、外筒；2、内筒；3、凹槽；4、凸起。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1，2，3所示，一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽，所述的外筒、内同为圆台形，所述的外筒底部直径小于顶部直径，所述的内筒底部直径小于顶部直径，所述的凸起与内筒采用焊接结构，所述的凹槽与内筒采用焊接结构，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接，所述凸起的长度大于凹槽的长度。

对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。