[发明专利]一种激光切割滤光片的方法在审
| 申请号： | 201811398059.5 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109516684A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张浩;陈蔚;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/09 | 分类号： | C03B33/09 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 葛勤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤光片 切割 切割轨迹 激光加工系统 激光切割 裂片 滤光片表面 滤光片放置 激光参数 绿光激光 切割效率 良品率 切割头 崩边 镀膜 绿光 贴合 断裂 聚焦 吸收 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光切割滤光片的方法，其特征在于：包括步骤，
S10、将待切割滤光片放置于皮秒激光加工系统平台上；
S20、设定皮秒激光加工系统的激光参数；
S30、利用Bessel切割头对滤光片进行点切割，形成点切割轨迹；
S40、将形成点切割轨迹的滤光片贴合到扩展膜上进行扩膜裂片，使得滤光片沿着点切割轨迹断裂。
2.如权利要求1所述的激光切割滤光片的方法，其特征在于：所述设定皮秒激光加工系统的激光参数，包括，
设定激光的波长为400-700nm，设定相邻激光加工点的间距为5-10μm。
3.如权利要求2所述的激光切割滤光片的方法，其特征在于：所述设定皮秒激光加工系统的激光参数，还包括，
设定激光的脉冲能量为50-90μJ，设定激光脉冲串为2个。
4.如权利要求3所述的激光切割滤光片的方法，其特征在于：所述激光的波长设定为532nm。
5.如权利要求1所述的激光切割滤光片的方法，其特征在于：所述利用Bessel切割头对滤光片进行点切割，形成点切割轨迹，具体包括,
利用Bessel切割头对滤光片切割轨迹为圆形的实际样品；
根据圆形样品的位置，利用Bessel切割头在每个圆形样品周围切割4条直线，用于辅助裂片。
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