[发明专利]一种钛基底着多重及图案化颜色的方法有效
| 申请号： | 201811389566.2 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109267026B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 杨峰;米雅民·萨尔曼·卡齐姆;孙柏;赵勇 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司 51200 | 代理人： | 刘凯 |
| 地址： | 610031 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基底 多重 图案 颜色 方法 | ||
1.一种钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，在腔室真空度为预设的高压环境下，通过磁控溅射仪向钛基底上采用ZnO进行第一层溅射，溅射时长为t1，溅射厚度为h1，完成第一层着色；在第一层着色的基础上，再采用MoS2进行第二层溅射，溅射时长为t2，溅射厚度为h2，颜色转变为目标色；通过控制溅射时长t1和t2，溅射厚度h1和h2，以及溅射的区域，实现不同颜色的图案化。
2.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为3分钟，溅射厚度h1为30nm时，第一层着色为棕色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为淡绿色。
3.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为5分钟，溅射厚度h1为50nm时，第一层着色为紫色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为黄色。
4.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为10分钟，溅射厚度h1为100nm时，第一层着色为黄色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为紫色。
5.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为15分钟，溅射厚度h1为150nm时，第一层着色为橙色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为绿色。
6.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为20分钟，溅射厚度h1为200nm时，第一层着色为蓝色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为橙色。
7.根据权利要求1所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述溅射时长t1为25分钟，溅射厚度h1为250nm时，第一层着色为紫色；溅射时长t2为5分钟，溅射厚度h2为50nm时，目标色为黄色。
8.根据权利要求1-7任一项所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述钛基底面积直径为0.1-10 cm，厚度为0.1-3 cm，距离靶8 cm；溅射功率为100 W，所用靶材直径6 cm，厚度5 mm。
9.根据权利要求1-7任一项所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，第一层溅射完成后，在溅射面上增设带有目标图案的掩膜板，再进行第二层溅射。
10.根据权利要求1-7任一项所述的钛基底着多重及图案化颜色的方法，其特征在于，所述磁控溅射仪为沈科仪450型多靶磁控溅射仪。
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