[发明专利]干涉滤光器、光学器件、光学模块及电子设备

权利要求书

1.一种干涉滤光器，其特征在于，具备：

第一镜；以及

第二镜，与所述第一镜相对，

将所述第二镜的垂直方向作为第一方向，在从所述第一方向观察的俯视观察中，所述第二镜是具有长边方向的形状。

2.根据权利要求1所述的干涉滤光器，其特征在于，

所述干涉滤光器还具备：

设置所述第二镜的可动部；以及

使所述可动部在所述第一方向移位的驱动装置，

在将与所述第一方向正交且与所述长边方向正交的方向作为第二方向，将与所述第一方向正交且与所述长边方向平行的方向作为第三方向时，

在所述俯视观察中，所述可动部在所述第三方向上的宽度大于在所述第二方向上的宽度。

3.根据权利要求2所述的干涉滤光器，其特征在于，

所述干涉滤光器具备保持部，所述保持部围绕所述可动部的外周并连结至所述可动部，以能够相对于所述第一方向上移动的方式保持所述可动部，

所述可动部在所述第一方向上具有均匀的尺寸。

4.根据权利要求2或3所述的干涉滤光器，其特征在于，

所述驱动装置包括电极，所述电极设置成在从所述第一方向观察的俯视观察中，在所述第二镜的外侧沿周向围绕所述第二镜，并通过施加电压使所述可动部在所述第一方向上移位，

所述电极的形状为与所述第二方向对应的部分的第二电极宽度大于与所述第三方向对应的部分的第三电极宽度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的干涉滤光器，其特征在于，

所述第二镜是长方形。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的干涉滤光器，其特征在于，

所述第二镜是椭圆形。

7.一种光学器件，其特征在于，具备：

权利要求1至6中任一项所述的干涉滤光器；以及

容纳所述干涉滤光器的壳体。

8.一种光学模块，其特征在于，具备：

权利要求2至4中任一项所述的干涉滤光器；以及

接收穿过所述第一镜和所述第二镜的光的光接收部。

9.根据权利要求8所述的光学模块，其特征在于，

所述光接收部具有光接收区域，所述光接收区域在所述第三方向的宽度大于所述第二方向的宽度。

10.根据权利要求8或9所述的光学模块，其特征在于，

所述光学模块具有：

对第一测量位置照射第一照明光的第一光源；以及

对第二测量位置照射第二照明光的第二光源，

在所述第一测量位置以及所述第二测量位置处反射的每个光束在所述俯视观察中入射在所述第二镜中相对于所述第三方向离开预定尺寸的位置。

11.一种光学模块，其特征在于，具备：

权利要求1、5、6中任一项所述的干涉滤光器；以及

接收穿过所述第一镜和所述第二镜的光的光接收部。

12.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至6中任一项所述的干涉滤光器；以及

控制所述干涉滤光器的驱动的控制部。