[发明专利]一种废靶材加工回收方法

说明书

本发明提供一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。本发明能够将回收后的靶材充分利用，提高废靶材加工回收利用率。

技术领域

本发明涉及靶材回收领域，具体涉及一种废靶材加工回收方法。

背景技术

磁控溅射是常见的最适应于工业化生产的镀膜方法，其优点是：沉积的膜层均匀致密、针孔少、纯度高、薄膜附着力强，沉积速度快、成膜速率高，基片的升温低、对膜层的损伤小，可实现大面积镀膜。目前，普遍使用长形或方形的氧化锌铝陶瓷靶（简称AZO陶瓷靶，具体为AZO陶瓷平面靶）进行磁控溅射镀膜，在对AZO陶瓷平面靶进行磁控溅射过程中，AZO陶瓷靶的利用率普遍较低（一般不超过30%），而绝大多数的（占70~80%）AZO陶瓷靶成为废靶材，由于废靶材的回收利用技术十分缺乏，目前都当作固体废弃物丢弃。

提高废靶材循环利用在靶材制造工业可持续发展战略中有着非常重要的地位，通过对废旧靶材的加工加工回收能够降低资源和能源消耗，减轻环境压力，然而现有技术大部分回收厂针对废靶材的回收方法不当，如分类、提取等方法不当，造成回收后的废靶材不能得到充分的利用，造成不必要的损失。并且，这些废靶材本身难以降解，直接丢弃对环境也会造成严重污染。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种废靶材加工回收方法，该方法能够将回收后的靶材充分利用，提高废靶材加工回收利用率。

本发明的目的通过以下技术方案来具体实现：

一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：

1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；

2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；

3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；

4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。

进一步的，在步骤2）中，剪切后的废靶材段通过除尘设备进行粉尘收集再进行清洗。

进一步的，在步骤4）中，破碎后的废靶材先通过磁选机进行磁选后再通过皮带输送机输送至表面剥离机。

进一步的，在步骤3）中，对废靶材进行破碎时，通过噪音控制设备进行降噪。

进一步的，在步骤4）中，通过表面剥离机处理后的靶材精料再次通过除尘设备进行粉尘收集。

本发明一种废靶材加工回收方法，本方法通过筛选除杂—剪切—破碎—表面剥离步骤对回收的废靶材进行加工处理，同时在剪切后会除尘并对废靶材进行清洗，能够提高靶材精料的精度，提高加工回收率，为企业带来更大的利润。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明种废靶材加工回收方法的流程图。

具体实施方式

如图1所示，本发明实施例一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：

1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；

2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；

3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；

4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。