[发明专利]带有在支架处固定的码尺的组件

说明书

根据本发明，码尺(1)通过粘合点(4)的布置保持在支架(2)处。粘合点(4)中的每个由粘合物质(42)组成，在该粘合物质中混入有球状的间距保持件(41)。通过间距保持件(41)一方面直接地放置在支架(2)处且另一方面码尺(1)直接地放置在间距保持件(41)上，保证了码尺(1)在支架(2)上的平坦的放置。码尺(1)在支架(2)处的稳定的保持通过粘合物质(42)保证。

技术领域

为了测量两个机器部件的相对位置，在机器部件中的一个处固定有码尺(Maßstab)且在可彼此运动的机器部件中的另一个处固定有采样单元(Abtasteinheit，有时也称为扫描单元)。在位置测量的情形中，码尺的测量刻度(Messteilung)由采样单元采样且生成与位置相关的采样信号。

背景技术

在文件US 2007/0281149 A1中描述了一种带有在支架处间隔开地布置的码尺的组件。码尺在支架处的固定在此借助于面型地分布的且彼此间隔开的粘合点实现。

作为该构造的缺点，在文件US 2007/0281149 A1本身中列举，即，通过粘合物质的收缩能够发生码尺的局部的弯曲，所述弯曲在利用该码尺进行位置测量时导致测量误差。

发明内容

本发明的任务在于，说明一种带有在支架处固定的码尺的组件，其中码尺在支架处尽可能不漂移地保持，从而利用该码尺使得带有高精确度的位置测量成为可能。

该任务通过在权利要求1中说明的组件解决。

本发明的有利的构造方案在从属的权利要求中说明。

码尺在测量操作中稳定地固定在支架处，这意味着在测量方向上以及垂直于测量刻度平面的较高的刚度。

本发明的实施例根据图纸更详细地阐释。

附图说明

其中：

图1以剖视图显示了带有支架和在该支架处固定的码尺的位置测量设备的示意性的构造；

图2显示了根据图1的视图II-II，且

图3显示了粘合点在支架上的二维的布置。

具体实施方式

根据图1到图3解释本发明的一实施例。示出的位置测量设备具有带有在支架2处固定的码尺1的组件，该码尺承载测量刻度11。测量刻度11在示例中为递增的刻度，该递增的刻度在位置测量的情形中在至少一个测量方向X上由采样单元3光电地采样以用于产生与位置相关的采样信号。测量刻度11能够为幅度栅格(Amplitudengitter)或相位栅格(Phasengitter)，其以已知的方式用于高精度的干涉的位置测量。通过测量刻度在X方向上和在Y方向上具有刻度结构，测量刻度11还能够构造用于二维的位置测量。码尺1为了位置测量以间距A保持在支架2处。支架2优选地由如下材料制成，该材料具有与码尺1相同的热膨胀系数。码尺1和支架2的在0°到50°的温度范围中的平均的热膨胀系数α在应用带有所谓的零膨胀的玻璃、陶瓷或玻璃陶瓷(如ZERODUR、SITAL和ULE)的情形中优选地小于0.1×10^-6K^-1，且在应用金属(如例如INVAR)的情形中小于1.5×10^-6K^-1。

码尺1在支架2处的固定通过面型地分布地且彼此间隔开地布置的粘合点4实现。

粘合点4分别由粘合物质42组成，在该粘合物质中包围且面型地分布有至少三个间距保持件41。这意味着，粘合点4的至少三个间距保持件41整体地在粘合点4的粘合物质42的容积中被包围或者被围住。

粘合点4的间距保持件41的质量份额为大约1到10%。质量份额给出混合部件间距保持件41的质量相对于粘合点4的总质量的相对的份额，其中总质量为包括粘合点4的所有的间距保持件41加上相应的粘合点4的粘合物质42的质量。