[发明专利]一种金属固体扩散设备

权利要求书

1.一种金属固体扩散设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有固定框架，所述固定框架上可拆卸设置有扩散模具，所述扩散模具包括同轴心设置的外模座和内模芯，所述外模座包括上模座和下模座，所述上模座底端开有上容纳孔，所述下模座顶端开有与上容纳孔相对接的下容纳孔，所述上容纳孔和下容纳孔均为圆柱形盲孔，所述上容纳孔和下容纳孔共同构成用于容纳内模芯的容纳腔；

所述内模芯外形与容纳腔内壁相吻合，所述内模芯包括左右对接的两个芯块，通过紧固环将两个芯块紧固为一体，两个芯块中心形成一个上下贯通的样品腔，所述样品腔的上段和下段分别为上、下螺纹段，通过上、下两个螺丝分别旋入样品腔的上、下螺纹段来固定位于样品腔中段的两个扩散偶样品；

所述扩散模具的外围设置有加热器件，所述加热器件通过线路外接温控仪，通过温控仪控制加热器件给所述扩散模具加热，通过扩散模具将热量传导至样品腔内的两个扩散偶样品，使得两个扩散偶样品在熔点以下完成扩散；

所述真空腔体一侧设有抽真空端口和冷却气体导入端口，通过抽真空端口外接真空泵组，通过冷却气体导入端口外接冷却气体气瓶。

2.如权利要求1所述的一种金属固体扩散设备，其特征在于：所述内模芯通过两个紧固环紧固为一体，所述内模芯的上端和下端均开有一段环形缺口，两个紧固环分别与两个环形缺口螺纹套接，且两个紧固环的外侧壁与内模芯的外侧壁对齐，两个紧固环的外端面分别与内模芯的上下端面相平齐。

3.如权利要求1所述的一种金属固体扩散设备，其特征在于：所述固定框架包括悬吊设置在真空腔体顶部的两个竖向安装杆，两个竖向安装杆上固定设置有上、下两个圆盘，所述扩散模具设置在上、下两个圆盘之间，所述外模座的上、下两端分别开有上、下安装盲孔，下圆盘中心设有用于插入外模座的下安装盲孔内起到支撑作用的下支撑柱，上圆盘中心设有用于插入外模座的上安装盲孔内起到固定作用的上支撑柱，且所述上支撑柱能沿着上圆盘的中心孔上下移动，所述上支撑柱、下支撑柱、上安装盲孔、下安装盲孔均与外模座同轴心。

4.如权利要求1所述的一种金属固体扩散设备，其特征在于：所述上支撑柱与上圆盘的中心孔之间螺纹连接。

5.如权利要求1所述的一种金属固体扩散设备，其特征在于：所述外模座为石墨材质的模座，所述内模芯为铜质模芯。

6.如权利要求1所述的一种金属固体扩散设备，其特征在于：所述外模座外侧壁上开有多个竖向槽，所述加热器件包括多个加热丝，多个加热丝分别卡接设置在多个竖向槽内。