[发明专利]一种三波长反射式数字全息显微镜

权利要求书

1.一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：包括第一光源、第二光源和第三光源，第一光源、第二光源和第三光源为三束波长有差别的线偏振光源，其中第一光源的线偏振方向平行于光路平面，第二光源和第三光源的线偏振方向垂直于光路平面；第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为参考光和物光两束光；透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面；携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束；反射光透过第三偏振分光棱镜后被第一延时系统进行180度反射，经第一二分之一波片偏转偏振方向后经第一反射镜和第二反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取；第二光源发出的光经第一偏振分光棱镜折射后透过第二偏振分光棱镜被分光棱镜分为参考光和物光两束光；透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面；携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束；反射光经第三偏振分光棱镜折射后经第二二分之一波片偏转偏振方向，被第二延时系统进行180度反射，经第三反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取；第三光源的光经第二偏振分光棱镜反射后与第二光源共用后续光路。

2.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第二光源与第三光源波长相近，两者拍频波长为可记录远远大于单个波长的范围，增大观测景深。

3.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第一光源、第二光源和第三光源由光源出射光线经过针孔内的聚焦透镜组出射构成；光源为半导体激光器，气体激光器，LED，Super LED。

4.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第一光源、第二光源和第三光源由光经过光纤出射至聚焦透镜上构成。

5.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述光源为线偏振光源。

6.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第一二分之一波片和第二二分之一波片光轴与线偏振方向夹角为45度，从而达到对线偏振方向90度偏转而与物光产生干涉。

7.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第一延时系统和第二延时系统均可调整位置达到产生高对比度干涉条纹目标。

8.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述第二反射镜、第三反射镜角度和位置可变。

9.按照权利要求1所述一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：所述相机包括面阵彩色相机、线阵彩色相机、面阵黑白相机和线阵黑白相机；相机传感器类型包括CCD和CMOS。