[发明专利]三合一喷涂机

权利要求书

1.一种三合一喷涂机，其特征在于：是于一机架上设置有：

一承载平台；

一传动机构，架设于该承载平台上方且能够进行至少四轴的移动，该传动机构包括一承载头；

一传动控制电路，控制该传动机构的移动；

一喷涂头，架设于该承载头上，用以将一液态材料喷涂于一基板上而形成一薄膜；

一喷涂控制电路，控制该喷涂头的喷涂动作；

一光学收发器，架设于该承载头上，用以发射一量测光并接收该量测光的反射光；

一光学薄膜侦测控制电路，连接该光学收发器，控制该量测光的收发并量测该基板上的该薄膜的膜厚；及

一加热板，配置于该承载平台上，该基板摆置于该加热板上；

一控制主板，连接该传动控制电路、该喷涂控制电路、该光学薄膜侦测控制电路与该加热板，依序控制该传动控制电路移动该承载头，控制该喷涂控制电路的喷涂动作以达到设定的一薄膜膜厚，控制该光学薄膜侦测控制电路进行该基板上的该薄膜膜厚量测，并于该薄膜膜厚达到设定值后控制该加热板进行该基板的加热流程以使该基板上的薄膜初步固化。

2.如权利要求1所述的三合一喷涂机，其特征在于：还包含：

一抽气马达，连接该控制主板；及

至少一抽气口，连接该抽气马达且该至少一抽气口配置于该承载平台下方。

3.如权利要求1所述的三合一喷涂机，其特征在于：其中该光学收发器包括一保护盖。

4.如权利要求1所述的三合一喷涂机，其特征在于：其中还包括一喷涂容器，该喷涂容器用以容置该液态材料。

5.如权利要求1所述的三合一喷涂机，其特征在于：其中该传动机构是运用一线性马达作为移动动力来源。

6.如权利要求1所述的三合一喷涂机，其特征在于：其中该加热板为一电热板。