[发明专利]一种带有自动出料功能的单晶炉炉体

说明书

本发明涉及一种带有自动出料功能的单晶炉炉体，包括上炉体和下炉体，所述的上炉体的下端连接在下炉体的上端内，所述的上炉体的顶部连接有端盖，所述的端盖可拆卸的连接在上炉体顶部的连接座上，所述的上炉体内开设有弧形槽，所述的弧形槽内连接有分隔板，所述的弧形槽的内部空间被分隔板分隔成上下两个空间，所述的分隔板连接在转动轴上，所述的转动轴与伺服电机相连，所述的下炉体的下端内还安装有存放座，所述的下炉体的内壁上设置有电加热管和支撑座，所述的存放座固定螺丝连接在支撑座上，所述的存放座的中心处设置有压力放料阀。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

技术领域

本发明涉及单晶炉领域，具体的涉及一种带有自动出料功能的单晶炉炉体。

背景技术

单晶硅是具有完整的点整结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛应用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅使用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的，在市场上有很广阔的前景。目前单晶硅的拉制装置为单晶炉，它是由上炉体、下炉体、炉盖、翻板箱、副室五大部分组成，目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁，由于在单晶炉的工作过程中长时间处于高温状态，会将上炉体烧坏，造成很大的损失。并且物料再从上炉体输送到下炉体的过程中效率十分低下，严重影响了单晶硅的生产效率。

发明内容

本发明在上炉体内开设有压力保护通道，当下炉体内的压力过大时压力阀会自动打开进行放气，起到了自我保护的作用；提供一种带有自动出料功能的单晶炉炉体。

为解决上述的技术问题，本发明提供了一种带有自动出料功能的单晶炉炉体，其特征在于：包括上炉体和下炉体，所述的上炉体的下端连接在下炉体的上端内，所述的上炉体的顶部连接有端盖，所述的端盖可拆卸的连接在上炉体顶部的连接座上，所述的上炉体内开设有弧形槽，所述的弧形槽内连接有分隔板，所述的弧形槽的内部空间被分隔板分隔成上下两个空间，所述的分隔板连接在转动轴上，所述的转动轴与伺服电机相连，所述的下炉体的下端内还安装有存放座，所述的下炉体的内壁上设置有电加热管和支撑座，所述的存放座固定螺丝连接在支撑座上，所述的存放座的中心处设置有压力放料阀。

进一步：所述的上炉体的侧壁内开设有加压通道，所述的加压通道的一端与下炉体相连通，所述的加压通道的另一端连接有送气管。

又进一步：所述的存放座的顶部开设有向中心倾斜的凹槽。

又进一步：所述的压力放料阀包括阀筒、阀芯、弹簧和阀盖，所述的阀筒的上端连接有安装盘，所述的安装盘以嵌入的形式连接在存放座的顶部，所述的阀筒穿过存放座伸出至其下方，穿过存放座的阀筒的两侧壁上设置有第一连接片，所述的第一连接片通过第一螺栓固定在存放座的底部，所述的阀芯活动连接在阀筒内，所述的阀盖安装在阀筒的下端，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀筒的侧壁上还开设有出料孔。

又进一步：所述的出料孔下方的阀筒的内壁上开设有凹槽，所述的凹槽内通过第二弹簧连接有三角形卡头，所述的阀芯的侧壁上开设有与三角形卡头相匹配的卡槽，所述的三角形卡头在第二弹簧的作用下卡入卡槽内，所述的阀盖上还安装有顶出气缸，顶出气缸的出轴端正对着阀芯。

又进一步：所述的上炉体侧壁内开设有压力保护通道，所述的压力保护通道的一端与加压通道相连通，所述的压力保护通道的另一端安装有压力阀。

又进一步：所述的压力阀包括第二阀筒、第三弹簧、调节螺栓、调节板和第二阀芯，所述的第二阀筒的一端可拆卸地连接在上炉体外壁上的第二连接座上，所述的第二阀筒的一端正对着压力保护通道并与其相连通，所述的第二阀筒的另一端开设有螺纹孔，所述的调节螺栓穿过螺纹孔伸入至第二阀筒内并与调节板活动连接，所述的第二阀芯活动连接在第二阀筒内并通过第三弹簧与调节板相连，所述的第二阀筒的侧壁上开设有压力保护孔。