[发明专利]一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备

权利要求书

1.一种多功能磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，其特征在于：所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的第一受力件和第二受力件,安装管上与第一受力件对应设置有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上与第二受力件对应设置有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构；所述传动轴包括沿前后方向依次设置的传动轴第一部分和传动轴第二部分，传动轴第一部分上设置有所述第一受力件，第一磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第一受力件对应的第一强磁卡套，传动轴第二部分上设置有所述第二受力件，第二磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第二受力件对应的第二强磁卡套，各强磁卡套内部设置有磁铁；所述安装管的外侧上于第一强磁卡套和第二强磁卡套之间设置有隔离套以保证第一强磁卡套和第一受力件位置对应以及第二强磁卡套和第二受力件位置对应；所述传动轴第二部分为空心轴结构，第一磁耦合驱动结构还包括设置于传动轴第二部分内部的转轴，传动轴第一部分和传动轴第二部分之间通过连接套连接，传动轴第一部分转动设置于连接套中，传动轴第二部分与连接套连接在一起，以实现前后方向上力的传递；传动轴第一部分和传动轴第二部分两者能够独立转动；转轴连接于传动轴第一部分上以随传动轴第一部分一起转动，传动轴第二部分的端部连接有夹头套管，夹头套管内部沿其轴向导向移动设置有导向套，导向套与转轴螺纹配合连接；夹头包括通过销轴铰接在一起的第一夹头部分和第二夹头部分，各夹头部分上均设置有与夹头套管铰接的第一铰接孔，导向套上设置有与所述销轴对应的第二铰接孔以使第一夹头部分、第二夹头部分以及导向套三者通过通一销轴铰接在一起；所述传动轴第一部分和传动轴第二部分均通过转动结构转动安装于安装管内部，转动结构包括轴承座和设置于轴承座内的轴承，轴承座上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮。

2.根据权利要求1所述的多功能磁耦合驱动器，其特征在于：各强磁卡套均包括环形外壳和设置于环形外壳内部的安装板，安装板沿周向间隔设置有多个供磁铁安装的安装孔，环形外壳的前后两端设置有外壳挡环。

3.根据权利要求2所述的多功能耦合驱动器，其特征在于：所述外壳挡环上沿周向设置有刻度条。

4.根据权利要求2所述的多功能耦合驱动器，其特征在于：所述环形外壳外侧面上设置有防滑槽结构。

5.根据权利要求1所述的多功能耦合驱动器，其特征在于：各受力件均为柱状结构，柱状结构的外侧面上沿周向间隔设置有多个弧形槽。

6.一种真空设备，包括真空腔体和设置于真空腔体上的磁耦合驱动器，其特征在于：所述磁耦合驱动器采用权利要求1-5中任意一项所述的多功能磁耦合驱动器。