[发明专利]一种DMD多区域激光投影系统及曝光方法

权利要求书

1.一种DMD多区域激光投影系统的曝光方法，其特征在于：该系统包括DMD控制系统、光学系统、掩膜板、分图系统及运动控制系统，所述DMD控制系统包括CPU控制单元和DMD控制电路，所述光学系统包括激光器和光学镜片模块，所述掩膜板包括化学膜和基板，所述运动控制系统由DMD台面、掩膜板台面、电机、导轨、运动平台控制器组成，所述分图系统、DMD控制系统、光学系统及掩膜板依次连接，所述分图系统控制运动平台控制器运动，所述DMD控制系统固定在DMD台面，所述掩膜板固定在掩膜板台面，具体包括以下步骤：

(1)DMD多区域激光投影系统中根据掩膜板尺寸设置R个DMD控制系统，R≥1；

(2)分图系统根据曝光图像原始图形大小、掩膜板物理大小及DMD控制系统的物理参数，把原始图形在X方向分成N个区，在Y方向把每个区分成M组，每个区的第1组数据组合起来，组成第1组分图数据，之后依次是第2组数据组成第2组分图数据，一直到第M组分图数据，分图系统把分图数据从第1-M组依次发送到DMD控制系统；

(3)DMD控制系统的CPU控制单元接收到分图数据后，经过数据转换把数据发送到DMD控制电路，DMD控制电路控制DMD显示系统时序，使DMD微镜阵列同时显示出多个图像区域，把DMD微镜阵列在二维XY平面展示，在Y方向依次显示图像1区图像，图像2区图像，一直到图像N区图像；

(4)光学系统的激光器投射激光到DMD微镜阵列的多个图像区域上面，DMD微镜阵列反射多个图像区域的激光图形到光学系统的镜片模块，光学系统的镜片模块把多个图像区域图像分别映射到掩膜板的不同区域，图像1-N分别被映射到掩膜板的X方向不同区域；

(5)运动控制系统控制掩膜板与映射到掩膜板上的图像在产生相对运动，把一个图像区域从掩膜板的Y方向一侧运动到另一侧，一次扫描可以完成从图像1-N及R*N个条带的曝光。

2.根据权利要求1所述的一种DMD多区域激光投影系统的曝光方法，其特征在于：所述光学系统由激光器和光学镜片模块组成，激光器产生特定能量大小的激光投射到DMD像素阵列上去，光学镜片模块包含不同方向的镜片，使DMD像素阵列的光经过反射最终到掩膜板上。

3.根据权利要求1所述的一种DMD多区域激光投影系统的曝光方法，其特征在于：所述掩膜板是由化学膜及基板组成，化学膜均匀地附着在基板表面，当接收到光学系统投射下来的光线时，化学膜感光后自身或与基板表面材料发生化学反应，从而形成曝光后图像。

4.根据权利要求1所述的一种DMD多区域激光投影系统的曝光方法，其特征在于：所述分图系统首先接收曝光现场的TIFF/Gerber类型的曝光原始文件，之后把原始文件转换成系统需要的图形数据文件，最终按时序发送给DMD控制系统的CPU控制单元，同时控制运动控制系统的运动平台控制器运动。