[发明专利]超快脉冲光纤激光器的输出切换装置有效
申请号: | 201811150991.6 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109286119B | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 杨亚涛;陈勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市大德激光技术有限公司 |
主分类号: | H01S3/067 | 分类号: | H01S3/067;H01S3/109;H01S3/02 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 朱健;张迪 |
地址: | 518116 广东省深圳市龙岗区宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光发射筒 光纤放大器 输出切换装置 光纤激光器 超快脉冲 倍频器 光路 超快脉冲激光 光路切换装置 激光技术领域 激光发射口 激光振荡器 可调滤波器 脉冲压缩器 加工效率 内部设置 输出光束 依次设置 重新定位 轴线位置 激光束 光谱 光源 输出 | ||
本发明涉及激光技术领域,具体涉及一种超快脉冲光纤激光器的输出切换装置,包括:沿光路顺次设置的光源;皮秒激光振荡器;可调滤波器;光纤放大器;第一激光发射筒,其内部沿光路依次设置有脉冲压缩器和飞秒倍频器;第二激光发射筒,其内部设置有皮秒倍频器,光路切换装置,用于将所述第一激光发射筒和所述第二激光发射筒的轴线分别切换至所述光纤放大器的光束线路上或者将所述光纤放大器的光束线路分别切换至所述第一激光发射筒和所述第二激光发射筒的轴线位置并将输出光束切换至同一光路上。本发明可从同一激光发射口可输出两种光谱形式的的超快脉冲激光,避免了在切换不同激光束时,重新定位的过程,简化了操作步骤,提高了加工效率与精度。
技术领域
本发明涉及激光技术领域,具体涉及一种超快脉冲光纤激光器的输出切换装置。
背景技术
超短脉冲为脉冲宽度在飞秒到皮秒量级间的一类脉冲的总称。利用高功率皮秒和飞秒激光,可实现对金属、金属碳化物、硅片等工业材料进行高精度加工。与纳秒脉冲相比,飞秒和皮秒脉冲的时间宽度之短,可迅速达到材料的消融临界点所需要的峰值能量密度,并有效地减少激光辐射带来的热效应。飞秒激光的持续时间远远小于晶格热传导时间,在其与物质相互作用时,能量吸收限制在极小的范围内,电子达到极高的温度,随之物质从固态变为离子态,迅速从加工区域喷出。因此,利用飞秒和皮秒脉冲能克服激光热效应带来的弊端,实现高精度的加工。
目前能同时实现两种光谱形式的超短脉冲激光输出切换装置,其输出激光束从两个发射口发出,在实际加工过程中,切换使用不同激光的操作繁琐。
发明内容
本发明提供一种超快脉冲光纤激光器的输出切换装置,用以提供一种从同一激光发射口可输出两种光谱形式的的超快脉冲光纤激光器的输出切换装置。
本发明提供一种超快脉冲光纤激光器的输出切换装置,包括:
沿光路顺次设置的光源;
皮秒激光振荡器,用于输出光谱;
可调滤波器,用于选取所述皮秒激光振荡器输出光谱中不同波长的光谱成分;
光纤放大器,用于将可调滤波器滤波后的平均功率提升;
第一激光发射筒,所述第一激光发射筒两端开口,其轴线沿光路方向设置,其内部沿光路方向依次设置有脉冲压缩器和飞秒倍频器,所述脉冲压缩器和所述飞秒倍频器的进光口与出光口均在所述第一激光发射筒轴线上;
第二激光发射筒,所述第二激光发射筒两端开口,其轴线沿光路方向设置,其内部设置有皮秒倍频器,所述皮秒倍频器的进光口与出光口均在所述第二激光发射筒轴线上;
光路切换装置,用于将所述第一激光发射筒和所述第二激光发射筒的轴线分别切换至所述光纤放大器的光束线路上或者将所述光纤放大器的光束线路分别切换至所述第一激光发射筒和所述第二激光发射筒的轴线位置并将输出光束切换至同一光路上。
作为优选,所述光路切换装置包括旋转架和校准筒,所述旋转架包括底座,所述底座下底面均匀设置有若干滚轮,所述底座上设置有转盘,所述底座通过第一驱动电机与所述转盘相连接,所述转盘上端对称且竖直设置有两根电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的顶端设置有转轴座,两个所述转轴座内贯穿设置有转轴,所述转轴的其中一端固定设置有第二驱动电机,所述转轴上固定套设有安装筒,其筒壁中间位置上均匀分布设置有三个转臂,所述转臂的另一端设置有固定圈,所述第一激光发射筒、所述第二激光发射筒和所述校准筒均嵌套在所述固定圈内,所述校准筒靠近所述光纤放大器的一端设置有端盖,其中心位置设置有透光孔,所述校准筒远离所述光纤放大器的一端的中心位置设置有第一激光接收器,所述校准筒的中轴线、所述第一激光发射筒的中轴线、所述第二激光发射筒的中轴线和所述转轴的中轴线平行且所述第一激光发射筒、第二激光发射筒和所述校准筒的中轴线与所述转轴的中轴线之间的距离相等。
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