[发明专利]一种光阻用高效可聚合型光引发剂有效
| 申请号: | 201811098683.3 | 申请日: | 2018-09-19 |
| 公开(公告)号: | CN110928139B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
| 发明(设计)人: | 桑伟;刘永祥;侯少堃;王晓青;孙涛 | 申请(专利权)人: | 北京鼎材科技有限公司;固安鼎材科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;C08F2/48;C07C69/738;C07C67/343;C07C227/10;C07C229/44 |
| 代理公司: | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人: | 崔永华 |
| 地址: | 100192 北京市海淀区西小*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光阻用 高效 聚合 引发 | ||
1.一种可聚合型光引发剂,其由以下结构式表示:
其中,R1、R2、R3和R分别独立表示C1~C10的烷基。
2.根据权利要求1所述的可聚合型光引发剂,其中,R1、R2、R3和R分别独立表示C1~C4的烷基。
3.根据权利要求2所述的可聚合型光引发剂,其中,R1、R2、R3和R分别独立选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基中的一种。
4.根据权利要求3所述的可聚合型光引发剂,其中,R1、R2、R3和R选自以下组合中的一种:
R和R1均为甲基;
R为乙基且R1为叔丁基;
R为甲基且R2和R3均为甲基;以及
R和R3均为乙基且R2为甲基;
其中,R2、R3与R1不共存。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的可聚合型光引发剂,其中,R’为
6.一种彩色光刻胶的制备方法,其特征在于,采用权利要求1~5中任一项所述的可聚合型光引发剂,且不配合使用助引发剂。
7.一种彩色光刻胶的制备方法,其特征在于,采用权利要求1~5中任一项所述的可聚合型光引发剂,且配合使用助引发剂,所述助引发剂选自脂肪族叔胺、乙醇胺类叔胺、叔胺型苯甲酸酯和活性胺中的至少一种,所述活性胺为分子内含有双键并且具有聚合活性的胺类。
8.权利要求1~5中任一项所述的可聚合型光引发剂在彩色光刻胶生产中的应用。
9.一种可聚合型光引发剂的制备方法,包括以下步骤:
以双乙烯酮和烷基醇为原料,合成乙酰乙酸烷基酯,利用乙酰乙酸烷基酯合成2-氧代-3-甲基-丁酸烷基酯,利用2-氧代-3-甲基-丁酸烷基酯合成α-重氮-丙酸烷基酯的S1步骤;
以4-溴苯甲酰氯和烷基苯基醚为原料,合成4-溴,烷氧基-二苯甲酮的S2步骤;
使用S1步骤得到的α-重氮-丙酸烷基酯与S2步骤得到的4-溴,烷氧基-二苯甲酮来合成由以下结构式表示的可聚合型光引发剂的S3步骤:
其中,R1和R分别独立表示C1~C10的烷基。
10.一种可聚合型光引发剂的制备方法,包括以下步骤:
以双乙烯酮和烷基醇为原料,合成乙酰乙酸烷基酯,利用乙酰乙酸烷基酯合成2-氧代-3-甲基-丁酸烷基酯,利用2-氧代-3-甲基-丁酸烷基酯合成α-重氮-丙酸烷基酯的S1步骤;
以溴代-N,N-二烷基苯胺和4-溴苯腈为原料,合成4-溴,烷胺基-二苯甲酮的S2’步骤;
使用S1步骤得到的α-重氮-丙酸烷基酯与S2’步骤得到的4-溴,烷胺基-二苯甲酮来合成由以下结构式表示的可聚合型光引发剂的S3’步骤:
其中,R2、R3和R分别独立表示C1~C10的烷基。
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