[发明专利]有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真方法及系统

权利要求书

1.一种有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真方法，其特征在于，包括：

模型获取步骤：获取声表面波谐振器物理模型；

分组步骤：对声表面波谐振器物理模型进行特征识别和分组，将相同特征的部分分在一组，得到压电基底、各种特征不同的电极在内的多个组成部分；对每组内的特征子单元进行分割；

有限元计算步骤：选取每个组成部分中的任意一个特征子单元建立有限元模型进行有限元计算，得到所选取的特征子单元的有限元计算结果；

拼接步骤：将所选取的特征子单元的有限元计算结果代替对应组内其他特征子单元的有限元计算结果，对组内的特征子单元进行拼接，得到各个组的有限元计算结果；将各个组的有限元计算结果进行拼接，得到声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果。

2.根据权利要求1所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真方法，其特征在于，还包括：

功能特性计算步骤：对声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果进行功能特性计算，得到所需的结果。

3.根据权利要求1所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真方法，其特征在于，在拼接步骤对各个组的有限元计算结果进行拼接时，保留各个组的边缘自由度。

4.根据权利要求1所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真方法，其特征在于，在拼接步骤得到的声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果中加入渐变的衰减区域，所述衰减区域位于声表面波谐振器物理模型的四周。

5.一种有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真系统，其特征在于，包括：

模型获取模块：获取声表面波谐振器物理模型；

分组模块：对声表面波谐振器物理模型进行特征识别和分组，将相同特征的部分分在一组，得到压电基底、各种特征不同的电极在内的多个组成部分；对每组内的特征子单元进行分割；

有限元计算模块：选取每个组成部分中的任意一个特征子单元建立有限元模型进行有限元计算，得到所选取的特征子单元的有限元计算结果；

拼接模块：将所选取的特征子单元的有限元计算结果代替对应组内其他特征子单元的有限元计算结果，对组内的特征子单元进行拼接，得到各个组的有限元计算结果；将各个组的有限元计算结果进行拼接，得到声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果。

6.根据权利要求5所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真系统，其特征在于，还包括：

功能特性计算模块：对声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果进行功能特性计算，得到所需的结果。

7.根据权利要求5所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真系统，其特征在于，在拼接模块对各个组的有限元计算结果进行拼接时，保留各个组的边缘自由度。

8.根据权利要求5所述的有限长微声学器件的积木式快速有限元仿真系统，其特征在于，在拼接模块得到的声表面波谐振器物理模型的有限元计算结果中加入渐变的衰减区域，所述衰减区域位于声表面波谐振器物理模型的四周。