[发明专利]一种用于等离子体发生器的气冷装置和等离子体发生器

权利要求书

1.一种用于等离子体发生器的气冷装置，其特征在于：

包括气冷装置本体和用于安装等离子体发生器的放电管的安装腔，所述气冷装置本体包括内壳和设置在所述内壳外的外壳，所述安装腔由所述内壳的内壁面围设而成；

所述外壳与所述内壳之间具有空腔，所述空腔形成冷却气腔；

所述外壳上设置有至少一个用于供冷却气进入所述冷却气腔的进气孔，所述内壳以及所述气冷装置本体的一个端部或两个端部上设置有多个用于将所述冷却气腔内的冷却气排出的喷气孔，多个所述喷气孔的开口轴线相对所述安装腔的轴线方向分别呈不同的角度设置，使得从多个所述喷气孔排出的冷却气能够以不同的角度排向等离子体发生器的放电管的不同位置；

在所述安装腔的轴线方向上，由远离所述安装腔的位置至靠近所述安装腔的位置，多个所述喷气孔的开口轴线与所述安装腔的轴线之间形成的多个角度在5°～120°之间依次递增。

2.根据权利要求1所述的气冷装置，其特征在于：

所述外壳上设置有多个所述进气孔，多个所述进气孔沿所述外壳的周向间隔设置。

3.根据权利要求1所述的气冷装置，其特征在于：

所述安装腔的内径比等离子体发生器的放电管的外径大3～5mm。

4.根据权利要求1所述的气冷装置，其特征在于：

所述外壳与所述内壳同轴设置，使得所述外壳与所述内壳之间的空腔等宽。

5.根据权利要求1至4任一项所述的气冷装置，其特征在于：

所述内壳的周向和所述气冷装置本体的一个端部上设置有多个周向均布的所述喷气孔。

6.根据权利要求1至4任一项所述的气冷装置，其特征在于：

所述进气孔上通过进气管连接有接管嘴；

所述进气孔为沉孔，所述沉孔包括第一沉孔段和第二沉孔段，所述第一沉孔段的孔径大于所述第二沉孔段的孔径；

所述第一沉孔段与所述第二沉孔段贯通，所述进气管的一端设置在所述第一沉孔段内。

7.根据权利要求1至4任一项所述的气冷装置，其特征在于：

所述气冷装置还包括法兰，所述气冷装置通过法兰与等离子体发生器连接。

8.一种等离子体发生器，包括放电管和绕设在所述放电管上的感应线圈，其特征在于：

所述等离子体发生器还包括权利要求1至7任一项所述的用于等离子体发生器的气冷装置，所述放电管的一端或两端设置有所述气冷装置。

9.根据权利要求8所述的等离子体发生器，其特征在于：

所述放电管与所述气冷装置之间通过法兰连接，所述放电管的一端或两端设置有翻边，所述法兰具有内腔，所述放电管通过所述翻边连接在所述法兰的内腔壁上。