[发明专利]基于用永久磁铁的真空度测量仪

说明书

本发明公开了一种基于用永久磁铁的真空度测量仪，包括圆筒形的外包装体，在外包装体的中部处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，所述外包装体的外围轴向放置着两层圆筒形的永久磁钢，永久磁钢由无磁不锈钢套筒包裹，其永久磁钢包括上层永久磁钢和下层永久磁钢，在上层永久磁钢的顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，在上层永久磁钢和下层永久磁钢之间设有极靴片，在上层永久磁钢的上面设有上夹板。本发明的真空度测量仪的磁场装置，具有合理组合的磁铁结构，获得了有利于磁控放电的磁场分布，扩展了真空度测试仪的测量范围，提高了测量仪的关键技术指标，使测量范围扩展数量级,这是以往采用电磁线圈结构难以获得的。

技术领域

本发明属于测量仪器设备领域，具体的说是涉及一种基于用永久磁铁的真空度测量仪。

背景技术

自从真空开关管问世以来，电气工程领域逐步推广并普及了真空开关的应用，当前我国在真空电子器件行业，真空开关管的制造已成为取代衰落的CRT行业兴起的又一龙头产业。在真空开关管的生产和使用过程中其内部真空度测量是产品制造过程中的关键技术之一。测量方法通常采用高真空冷阴极磁控放电的测量模式。在已有技术中，早期测量提供的磁场是采用电感线圈通过电容器对其放电获得的电磁场，为了获得准确的真空度测量数据，则多改进为采用大电流稳流电源通过电感线圈获得稳定的电磁场。这种通过电磁线圈实现真空度测量的装置中，为获取真空度测量所需的强磁场不但需要功率较大的稳流电源还要考虑线圈的散热问题，总体结构臃肿庞大，为此我们尝试着采用永磁结构的磁场取代线圈电磁场，永磁磁场装置的结构最为简约，它以最小的使用空间获得测量区域较为理想分布的较强磁场，不但克服了电磁线圈使用中的弊病还有利于扩展测量仪的量测范围。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的是提供一种基于用永久磁铁的真空度测量仪，该真空度测量仪用永久磁铁，取代电磁线圈，为真空度测量提供了最佳恒定的工作磁场，不仅省略了电磁线圈所需的大功率直流稳流电源，且免除了电磁线圈的散热问题。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种基于用永久磁铁的真空度测量仪，包括圆筒形的外包装体，在外包装体的中部处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，所述外包装体的外围轴向放置着两层圆筒形的永久磁钢，永久磁钢由无磁不锈钢套筒包裹，其永久磁钢包括上层永久磁钢和下层永久磁钢，在上层永久磁钢的顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，在上层永久磁钢和下层永久磁钢之间设有极靴片，在上层永久磁钢的上面设有上夹板，在下层永久磁钢的下面设有下夹板。

优选的，所述硅橡胶环的外部包有一层非磁金属材料套筒。

进一步，所述上夹板及下夹板之间对称设有紧固螺栓。

进一步，所述紧固螺栓为双头螺栓，在紧固螺栓上配置有紧固螺母。

采用本技术方案的发明，其有益效果是：本发明的真空度测量仪的磁场装置，具有合理组合的磁铁结构，获得了有利于磁控放电的磁场分布，扩展了真空度测试仪的测量范围，提高了测量仪的关键技术指标，使测量范围扩展数量级,这是以往采用电磁线圈结构难以获得的。本发明的真空度测量仪结构中，永久磁铁以最简约的结构，最小的使用空间为测量提供所需的磁场分布和磁场强度。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图中标号：10、外包装体；20、硅橡胶环；30、上夹板；40、上层永久磁钢；50、极靴片；60、下层永久磁钢；70、无磁不锈钢套筒；80、下夹板；90、紧固螺栓；91、紧固螺母。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。