[发明专利]基板保护膜剥离装置

权利要求书

1.一种基板保护膜剥离装置，由水平固定且从其上面被保护膜覆盖的基板本体，剥离所述保护膜，其特征在于，包括：

角度调整板，配置有多个支撑部；

夹具，通过固定机构安装在所述角度调整板的支撑部调整位置；

剥离部，具有刀簧并以固定在所述夹具的状态垂直升降运动，且以下降到所述保护膜上面的状态，由反作用力弹性变形，并根据弹性变形给保护膜施加侧方向的力，将保护膜从基板本体进行分离；

起膜部，与所述剥离部对应的配置，抓住由剥离部从基板本体分离的保护膜，并从基板撕掉。

2.根据权利要求1所述的基板保护膜剥离装置，其特征在于，所述刀簧作为具有弹性的板簧，以对于所述保护膜上面倾斜的状态固定。

3.根据权利要求1所述的基板保护膜剥离装置，其特征在于，所述角度调整板是提供垂直紧贴面的块形部件，且

所述各支撑部包括：

多个收容槽，形成在所述紧贴面并以规定间隔隔离，且形成一个组，且

所述夹具具有对应于被选择支撑部的收容槽的贯通孔，并且

所述固定机构是通过所述夹具的贯通孔，嵌入结合在角度调整板收容槽的固定部件。

4.根据权利要求3所述的基板保护膜剥离装置，其特征在于，构成所述各支撑部的收容槽排列成直线，且所述直线的延长线通过所述刀簧的下端部。

5.根据权利要求2所述的基板保护膜剥离装置，其特征在于，还包括：

压力传感器，检测所述剥离部运行时施加到刀簧的压力；及

零位传感器，感知对所述保护膜的刀簧下端部的位置适当性。

6.根据权利要求1所述的基板保护膜剥离装置，其特征在于，在所述起膜部的下部具有鼓风机，所述鼓风机在起膜部运行时将空气向上喷出，防止对起膜部的保护膜的粘附。