[发明专利]一种用于光谱分析的多功能样品室

权利要求书

1.一种用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：该样品室包括样品室腔体(1)、进气装置(8)、抽真空装置(15)和控制电路(4)；

所述样品室腔体(1)包括腔体门(2)、航空插头接口(3)、控制开关(5)、进气口(7)、抽真空出气孔(13)和检测真空出气口(14)；

所述控制电路(4)通过真空用航空插头与样品室腔体(1)的航空插头接口(3)可插拔地气密连接，控制电路(4)经航空插头接口(3)分别与控制开关(5)、进气装置(8)、抽真空装置(15)以及样品室腔体(1)内的硬件设备电连接，用来控制及监测样品室腔体(1)的工作状态；

所述进气装置(8)通过进气口(7)与样品室腔体(1)连通，用来控制进入样品室腔体(1)内的气体种类及流量；

所述抽真空装置(15)通过抽真空出气孔(13)和检测真空出气口(14)与样品室腔体(1)连通，用来对样品室腔体(1)进行抽真空和真空监测；

该样品室可选择地在真空密封、低压充气及常压状态下工作。

2.根据权利要求1所述的用于光谱分析仪测试样品的多功能样品室，其特征在于：所述的样品室腔体(1)为气密性的圆柱形或立方体结构。

3.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述真空用航空插头与航空插头接口(3)采用内卡口式锁紧结构气密连接，所述真空用航空插头为(26)芯航空插头。

4.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述进气口(7)的高度与样品高度相对应，使得由进气装置(8)充入的保护气体对准样品激发位置。

5.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述进气装置(8)包括三通转接件(9)、质量流量控制器(10)、电磁阀(11)和减压阀(12)；

所述三通转接件(9)的出气端与样品室腔体(1)的进气口(7)连通；三通转接件(9)的第一进气端与电磁阀(11)连通，构成空气通路；三通转接件(9)的第二进气端依次连通质量流量控制器(10)和减压阀(12)，构成保护气通路。

6.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述抽真空装置(15)包括真空规(16)和真空泵(17)；所述真空规(16)与样品室腔体(1)的检测真空出气口(14)连通，构成真空测量通路；所述真空泵(17)与样品室腔体(1)的抽真空出气孔(13)连通，构成抽真空通路。

7.根据权利要求6所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述真空规16采用皮拉尼真空规。

8.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述腔体门2与样品室腔体1之间的最大开合角度为180°。

9.根据权利要求1所述的用于光谱分析的多功能样品室，其特征在于：所述腔体门(2)通过铰链(6)与样品室腔体(1)铰接，所述铰链(6)包括第一底座(18)、第二底座(19)、第一铰链臂(20)、第二铰链臂(21)、第一旋转轴(22)和第二旋转轴(23)；

所述第一底座(18)和第二底座(19)分别固接在样品室腔体(1)和腔体门(2)上；所述第一铰链臂(20)固接在第一底座(18)上，第一铰链臂(20)的端部与第二铰链臂(21)的端部通过第一旋转轴(22)相互铰接；所述第二铰链臂(21)通过第二旋转轴(23)可移动地连接在第二底座(19)上；一对对称布置在第二旋转轴(23)的左右两侧的调节螺丝(24)穿过第二铰链臂(21)与第二底座(19)连接，用于调整限定第二铰链臂(21)与第二底座(19)的相对位置。