[发明专利]废气导入装置

权利要求书

1.一种废气导入装置，其特征是包括：

一反应腔室，具有一中心线；

一加热器，其一端植入该反应腔室内且坐落于该中心线上，并且沿该中心线提供一热源进入该反应腔室；

多支废气导入管，其一端分别与该反应腔室相连通；及

等数于所述废气导入管的弯折管，分别具有相互连通形成的一第一管部及一第二管部，各该第一管部沿着一第一管心线延伸形成，各该第二管部沿着一第二管心线延伸形成，且各该第一管部枢设于所述废气导入管内，而使各该第二管部穿探至该反应腔室；

其中，各该第一管心线与第二管心线之间具有一弯折角，且各该第二管部沿着第二管心线延伸形成一排气口，各该第二管心线排除与该中心线相交，且各该第二管心线与一水平面之间具有一朝向反应腔室内斜倾的倾角，该倾角大于0度且小于90度，使得所述多个排气口能在该反应腔室内斜倾式地间隔围绕于该热源的四周，进而导入废气形成一环圈状的废气回旋路径；

其中，各该第二管部能以各该第一管部的第一管心线为圆心旋转，而能够调整各该第二管部与该水平面之间的倾角。

2.如权利要求1所述废气导入装置，其特征在于：该中心线垂直于该水平面，且该第一管心线与该中心线相交。

3.如权利要求1或2所述废气导入装置，其特征在于：该弯折角大于90度且小于180度。

4.如权利要求1所述废气导入装置，其特征在于：该反应腔室形成于一半导体废气处理槽内，该半导体废气处理槽的顶部罩设有一头盖，该头盖具有一锥盘形的内壁面，该内壁面上间隔形成有多个管孔，所述多支废气导入管分别穿设于该管孔。

5.如权利要求1所述废气导入装置，其特征在于：相互枢接的各该第一管部与各该废气导入管之间配置有一O型环。