[发明专利]一种微电子器件除尘装置

权利要求书

1.一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒(2)，其特征在于，所述矩形盒(2)的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒(9)，所述锥形盒(9)的内壁上焊接有空心圆柱(21)，所述空心圆柱(21)的两侧分别固定安装有离子发生器(10)和吸尘器(11)，所述锥形盒(9)的内壁上焊接有圆形板(8)，所述矩形盒(2)的两侧内壁上焊接有同一个横板(5)，所述横板(5)的一侧滑动连接有移动板(6)，所述矩形盒(2)的两侧内壁上均开设有通孔，所述通孔位于横板(5)的两侧，所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳(3)，所述弹性绳(3)的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒(2)内，两个弹性绳(3)相互靠近的一端分别与移动板(6)的两侧相连接，所述移动板(6)的顶部和圆形板(8)的底部焊接有同一个拉簧(14)，所述移动板(6)的两侧分别固定安装有分流盒(15)和吸尘盒(19)，所述分流盒(15)内固定安装有风扇，所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪(16)和吸尘头(18)，所述离子风枪(16)和吸尘头(18)分别与分流盒(15)和吸尘盒(19)相连通，所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的顶部分别固定连接有第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)分别与分流盒(15)和吸尘盒(19)相连通，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)的顶端均贯穿圆形板(8)并延伸至圆形板(8)的上方，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)的顶端分别固定连接有离子风管(24)和吸尘管(12)，所述离子风管(24)和吸尘管(12)的顶端分别贯穿空心圆柱(21)的两侧内壁并分别与离子发生器(10)的出风口和吸尘器(11)的进风口螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于，所述矩形盒(2)的底部固定安装有密封条(1)，所述密封条(1)为软性材质。

3.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于，所述横板(5)的一侧焊接有导轨(4)，所述移动板(6)的一侧焊接有滑块(22)，所述滑块(22)与导轨(4)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于，两个弹性绳(3)相互远离的一端均固定连接有拉环，所述拉环与矩形盒(2)相接触。

5.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于，所述移动板(6)的底部固定安装有刷盘(17)，所述刷盘(17)的底部固定安装有毛刷(23)。

6.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于，所述矩形盒(2)的一侧开设有矩形孔，所述矩形孔的内壁上固定安装有透明窗(20)。