[发明专利]一种金刚石微铣刀刃口锋利度保持的方法与装置

权利要求书

1.一种金刚石微铣刀刃口锋利度保持的方法，其特征在于，其包括如下步骤：

步骤一：工件的预处理，首先对所述工件进行表面抛光处理，随后对所述 工件进行清洗，去除所述工件表面的杂质及有机污渍；

步骤二：所述工件的装夹，将所述工件固定并装夹在精密微细铣床的工作 台上，调节待加工工件的表面至其处于水平状态；

步骤三：金刚石微铣刀的装夹，将所述金刚石微铣刀安装到所述精密微细 铣床的主轴上，并保证所述金刚石微铣刀处于悬伸状态；

步骤四：调节所述金刚石微铣刀和工件的相对位置，完成对刀，然后移动 工作台使所述金刚石微铣刀处于工件表面上待加工区域的入口位置，并使金刚 石微铣刀和工件处于局部密闭空间中；

步骤五：向局部密闭空间中充入保护气体，并控制保护气体的浓度；所述 保护气体为富碳气体；所述保护气体的浓度为 0.0457~0.0478 mol/L；

步骤六：设置所述金刚石微铣刀微铣削加工工艺参数进行铣削实验，完成所需微结构完整加工；所述金刚石微铣刀的材料为聚晶金刚石或单晶金刚石，刀具直径为 1mm 及以下；所述富碳气体为 CO2 或 CH4。

2.根据权利要求 1 所述的一种金刚石微铣刀刃口锋利度保持的方法，其特征在于，所述工件包括金属材料和非金属固体材料。

3.根据权利要求 2所述的一种金刚石微铣刀刃口锋利度保持的方法，其特征在于，所述金属材料为黑色金属、硬质合金或铜；所述非金属固体材料为陶瓷或普通玻璃。

4.一种实施权利要求 1-3 任意一项所述的金刚石微铣刀刃口锋利度保持的方法的金刚石微铣刀刃口锋利度保持的装置，其特征在于，包括储气罐（1）、气体流量计（2）、压力表（3）、溢流阀（4）、主轴（5）、测力仪（8）、精密微 细铣床工作台（9）、伸缩管套（10）、透明窗（11）、密封圈（12）和 CCD 电子显微镜（13）；

所述精密微细铣床工作台（9）上由下向上依次设置有密封圈（12）和透明窗（11）；

所述主轴（5）和透明窗（11）之间设置有伸缩管套（10）；所述气体流量计（2）连接有储气罐（1）；所述精密微细铣床工作台（9）、密封圈（12）、透明窗（11）、伸缩管套（10）和主轴（5）之间围成局部密闭空间；

所述局部密闭空间中充有保护气体；

所述测力仪（8）固定于精密微细铣床工作台（9）上；

所述局部密闭空间的外部设置有 CCD 电子显微镜（13）。

5.根据权利要求 4 所述的金刚石微铣刀刃口锋利度保持的装置，其特征在 于，所述保护气体为富碳气体。

6.根据权利要求 4 所述的金刚石微铣刀刃口锋利度保持的装置，其特征在 于，所述富碳气体为 CO2 或 CH4。