[发明专利]新型马赫探针

权利要求书

1.一种新型马赫探针，其特征在于，包括收集模块一(1)和收集模块二(2)，其中：

所述收集模块一(1)包括圆柱探针(11)，所述圆柱探针(11)的延伸方向平行于羽流流向，所述圆柱探针(11)的圆柱侧表面用于收集流场离子，所述圆柱探针(11)为圆柱朗缪尔型；

所述收集模块二(2)包括平面探针(22)，所述平面探针(22)具有用于所述圆柱探针(11)穿过的通孔和用于收集流场离子的收集端面，所述收集端面所处平面垂直于羽流流向，所述平面探针(22)与所述圆柱探针(11)之间通过套设于所述圆柱探针(11)外部的绝缘护套(12)绝缘。

2.根据权利要求1所述的新型马赫探针，其特征在于，所述绝缘护套(12)呈筒状结构，内部设有用于对所述圆柱探针(11)和所述平面探针(22)静电屏蔽的静电屏蔽筒(13)。

3.根据权利要求2所述的新型马赫探针，其特征在于，所述静电屏蔽筒(13)的轴线与所述绝缘护套(12)的轴线重合。

4.根据权利要求1所述的新型马赫探针，其特征在于，所述收集模块二(2)还包括套设于所述平面探针(22)外部且与所述平面探针(22)连接到同一偏置电压电路的保护环(23)，所述平面探针(22)与所述保护环(23)之间通过绝缘组件(24)绝缘。

5.根据权利要求4所述的新型马赫探针，其特征在于，所述平面探针(22)为平面朗缪尔型。

6.根据权利要求4所述的新型马赫探针，其特征在于，所述绝缘组件(24)包括陶瓷护套(241)和第一陶瓷垫片(242)，其中：

所述陶瓷护套(241)套设于所述平面探针(22)外部；

所述第一陶瓷垫片(242)套设于所述平面探针(22)外部；

所述陶瓷护套(241)和所述第一陶瓷垫片(242)之间形成环槽，所述环槽用于沿着平行于所述平面探针(22)的轴线方向对所述保护环(23)进行定位。

7.根据权利要求6所述的新型马赫探针，其特征在于，所述平面探针(22)上具有定位端面(221)，所述定位端面(221)用于沿着所述平面探针(22)的轴线方向对所述陶瓷护套(241)进行定位。

8.根据权利要求6所述的新型马赫探针，其特征在于，还包括套设于在所述收集模块二(2)外部的紧固螺母(3)，所述紧固螺母(3)用于对所述第一陶瓷垫片(242)进行定位。

9.根据权利要求8所述的新型马赫探针，其特征在于，还包括套设在所述收集模块二(2)外部的耳片支座(4)，所述耳片支座(4)的耳片部分夹设于所述第一陶瓷垫片(242)和所述紧固螺母(3)之间。