[发明专利]用于减小的输入电容的探针衰减器

权利要求书

1.一种测试和测量探针，包括：

包括可变并联电阻器的分压器电路；

具有输入和输出的放大器，所述输入耦合到分压器电路；以及

耦合到放大器的输出的可变串联电阻器。

2.根据权利要求1所述的测试和测量探针，其中分压器电路不包括并联电容器。

3.根据权利要求1所述的测试和测量探针，其中分压器电路包括并联静电敏感设备（ESD）二极管。

4.根据权利要求1所述的测试和测量探针，其中分压器电路包括并联二极管。

5.根据权利要求4所述的测试和测量探针，其中并联二极管是偏置的变容二极管。

6.根据权利要求5所述的测试和测量探针，进一步包括：

温度传感器；以及

耦合到温度传感器和并联二极管的调节电路，所述调节电路被配置为基于温度偏置并联二极管。

7.一种测试和测量探针，包括：

信号通道，其包括具有串联寄生电容的输入串联电阻器；

耦合到信号通道的放大器，所述放大器具有并联寄生电容；

耦合到信号通道和地的可变并联电阻器，所述可变并联电阻器被设置为减小跨信号通道的电压并匹配与串联寄生电容和输入串联电阻器以及并联寄生电容和可变并联电阻器相关联的电阻电容（RC）值；以及

耦合到放大器的可变串联电阻器，所述可变串联电阻器被设置为调整与可变并联电阻器相关联的衰减变化。

8.根据权利要求7所述的测试和测量探针，其中可变并联电阻器和输入串联电阻器充当分压器电路，并且所述分压器电路不包括并联电容器。

9.根据权利要求8所述的测试和测量探针，其中所述测试和测量探针经由信号通道将加载电容应用到被测设备（DUT），并且其中通过从分压器电路省略并联电容器而减小所述加载电容。

10.根据权利要求7所述的测试和测量探针，进一步包括耦合到信号通道的并联静电敏感设备（ESD）二极管，所述ESD二极管用于保护放大器免受跨信号通道的静电放电的影响。

11.根据权利要求10所述的测试和测量探针，其中ESD二极管包括随温度变化的电容，其抵消与放大器的并联寄生电容相关联的随温度变化的电容。

12.根据权利要求7所述的测试和测量探针，进一步包括耦合到信号通道和地的并联二极管，所述并联二极管被偏置以支持匹配与串联寄生电容和并联寄生电容相关联的RC值。

13.根据权利要求12所述的测试和测量探针，其中并联二极管是变容二极管。

14.根据权利要求12所述的测试和测量探针，进一步包括：

用于测量温度的温度传感器；以及

耦合到温度传感器和并联二极管的调节电路，所述调节电路被配置为基于温度偏置并联二极管。

15.一种校准测试和测量探针的方法，包括：

设置测试和测量探针的分压器电路中的可变并联电阻器以平坦化测试和测量探针的频率响应；以及

设置测试和测量探针的信号通道中的可变串联电阻器以减轻与可变并联电阻器设置相关联的衰减变化。

16.根据权利要求15所述的方法，其中平坦化测试和测量探针的频率响应导致匹配与电阻和寄生电容相关联的电阻电容（RC）值，所述电阻和寄生电容与测试和测量探针的分压器电路和放大器相关联。

17.根据权利要求15所述的方法，进一步包括设置分压器电路中的并联二极管的偏置以减轻测试和测量探针的随温度变化的电容。