[发明专利]一种具有光限幅性能的VO2 有效
| 申请号： | 201810741672.6 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108950492B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 田野;曹雪;罗飞;刘大博 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/18;C23C14/58;B05D7/24;B05D3/04 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有光 限幅 性能 vo base sub | ||
【权利要求书】：
1.一种具有光限幅性能的VO2复合薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括下述步骤：
1)以金属钒靶作为溅射源，在氩气条件下在洁净石英衬底上溅射200nm厚的金属V膜，衬底温度保持在200℃，溅射时间为60min，溅射功率为150W；
2)将溅射有V膜的基片放置在管式炉中，通入氮氧混合气进行退火，其中氮气与氧气的比例是10：1，退火温度为480℃，退火时间60min，冷却至室温后取出；
3)将50ml无水乙醇，7ml去离子水，7ml浓氨水混合，搅拌均匀得到反应溶液；在40℃恒温水浴中，将5～20ml正硅酸乙酯缓慢滴加至上述溶液中，搅拌反应30min，反应24h；反应完毕后用无水乙醇反复离心，洗涤，再经超声分散即得到SiO2微球溶液；
4)利用旋涂仪将上述SiO2微球溶液均匀涂覆于步骤2)制得的薄膜表面，具体参数为先进行低速旋涂，速度为300转/分钟，旋涂时间10s，再进行高速旋涂，速度为1000转/分钟，旋涂时间30s，随后在空气下进行150℃热处理1h定型成膜；
5)以Au靶或Ag靶作为溅射源，在氩气条件下在步骤4)制得的薄膜上溅射Au膜或Ag膜，衬底温度保持在150℃，溅射时间为2min，溅射功率为50W，即得到所需的VO2复合薄膜。
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