[发明专利]一种激光空化抛光材料表面的装置及方法

权利要求书

1.一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，包括水槽（6）、液体箱Ⅰ（12）、抽水管（13）、液体泵（15）、出水管（4）和液体箱Ⅱ（3），所述水槽（6）内底部装有承料台（7），工件（8）通过夹紧装置（9）固定在所述承料台（7）上，所述水槽（6）放置于三维移动平台（5）；所述水槽（6）上方安装激光空化系统，所述液体泵（15）通过所述抽水管（13）抽送所述液体箱Ⅰ（12）中的抛光液（10）到所述水槽（6）内，所述出水管（4）位于所述水槽（6）的另一侧壁，所述出水管（4）与所述液体箱Ⅱ（3）连通，用来保障水槽（6）内液体容量一定。

2.根据权利要求1所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，还包括抛光度检测系统（25），所述抛光度检测系统（25）包括激光笔（25-1）和光敏传感器（25-3），所述激光笔（25-1）由计算机（1）控制，所述光敏传感器（25-3）通过数据处理装置（2）与计算机（1）相连。

3.根据权利要求1或2所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述水槽（6）的侧壁面为滑动侧壁（14），所述滑动侧壁（14）通过滑轨安装在水槽（6）的进水口一侧，可自由调节其高度。

4.根据权利要求3所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述滑动侧壁（14）上安装有增压器（16），所述增压器（16）通过所述抽水管（13）与所述液体泵（15）连接。

5.根据权利要求1所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述液体箱Ⅰ（12）内设有搅拌器（11）。

6.根据权利要求1或2所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述液体泵（15）、所述三维移动平台（5）和所述激光空化系统均与所述计算机（1）连接。

7.根据权利要求6所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述激光空化系统包括激光分束透镜组、全反镜（21）、YAG激光器（23）和激光控制器（24），所述激光分束透镜组由凹透镜（20）、凸透镜（19）和光学衍射元件DOE（18）组成，所述YAG激光器（23）在激光控制器（24）控制下发出激光束（22），所述激光束（22）经过全反镜（21），再先后穿过凹透镜（20）、凸透镜（19）和光学衍射元件DOE（18）形成多束激光，在工件（8）上方的抛光液（10）中获得多个聚焦点，从而形成多个空泡（17）。

8.根据权利要求1或2所述的一种激光空化抛光材料表面的装置，其特征在于，所述承料台（7）上设有若干梯形槽，所述夹紧装置（9）可根据工件（8）的尺寸大小固定在相应的梯形槽上以更好的适应工件（8）的固定。